[发明专利]触摸屏、彩膜基板及其制造方法有效
申请号: | 200910084762.3 | 申请日: | 2009-05-19 |
公开(公告)号: | CN101893977A | 公开(公告)日: | 2010-11-24 |
发明(设计)人: | 谢振宇;陈旭;刘翔 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G06F3/045 | 分类号: | G06F3/045;H01L21/82 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 曲鹏 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 触摸屏 彩膜基板 及其 制造 方法 | ||
1.一种触摸屏,包括基板,其特征在于,所述基板上设置有形成数个触摸感受区域的数条第一信号线和第二信号线,所述第一信号线与第一压电开关连接,所述第二信号线与第二压电开关连接,所述第一压电开关和第二压电开关用于在触摸感受区域被触摸受压时导通,并分别通过所述第一信号线和第二信号线传递电压信号,以确定被触摸的触摸感受区域的位置坐标。
2.根据权利要求1所述的触摸屏,其特征在于,所述第一压电开关包括第一有源层、源电极和漏电极,所述第一有源层由压电薄膜制成并形成在所述触摸感受区域内,作为源电极的第一信号线和作为漏电极且提供工作电压的第一电极分别连接第一有源层,第一信号线与第一电极之间形成第一压电开关沟道区域;所述第二压电开关包括第二有源层、源电极和漏电极,所述第二有源层由压电薄膜制成并形成在所述触摸感受区域内,作为源电极的第二信号线和作为漏电极且提供工作电压的第二电极分别连接第二有源层,第二信号线与第二电极之间形成第二压电开关沟道区域。
3.根据权利要求2所述的触摸屏,其特征在于,所述第一信号线和第一电极压设在所述第一有源层上,所述第二信号线和第二电极压设在所述第二有源层上,所述第一信号线、第一电极、第二信号线和第二电极上形成有第一绝缘层,位于第一电极所在位置的第一绝缘层上开设有第一过孔,位于第二电极所在位置的第一绝缘层上开设有第二过孔,提供工作电压的工作电极形成在所述第一绝缘层上,通过第一过孔与第一电极连接,通过第二过孔与第二电极连接。
4.根据权利要求2所述的触摸屏,其特征在于,所述第一信号线为整体连续结构,所述第二信号线为形成在相邻的第一信号线之间的分体间断结构,分体间断结构的第二信号线通过连接电极相互连接,或所述第二信号线为整体连续结构,所述第一信号线为形成在相邻的第二信号线之间的分体间断结构,分体间断结构的第一信号线通过连接电极相互连接。
5.根据权利要求4所述的触摸屏,其特征在于,所述连接电极形成在第一绝缘层上,所述第一绝缘层上开设有第三过孔和第四过孔,所述连接电极通过所述第三过孔和第四过孔使分体间断结构的第一信号线或第二信号线相互连接。
6.根据权利要求2所述的触摸屏,其特征在于,所述第一信号线和第一电极压设在所述第一有源层上,其上形成有第一绝缘层,所述第一绝缘层上开设有第五过孔和第六过孔,形成在第一绝缘层上的第二电极和第二信号线分别通过所述第五过孔和第六过孔与第二有源层连接;所述第二电极和第二信号线上形成有第二绝缘层,所述第二绝缘层上开设有第一过孔和第二过孔,提供工作电压的工作电极形成在所述第二绝缘层上,通过第一过孔与第一电极连接,通过第二过孔与第二电极连接。
7.根据权利要求2~6中任一权利要求所述的触摸屏,其特征在于,所述第一有源层和第二有源层的下方形成有遮光层。
8.一种触摸屏制造方法,其特征在于,包括:
步骤11、在基板上沉积压电薄膜,通过构图工艺形成包括第一有源层和第二有源层的图形;
步骤12、在完成步骤11的基板上形成包括第一信号线、第一电极、第二信号线和第二电极的图形,所述第一信号线和第一电极与所述第一有源层连接,并在第一电极与第一信号线之间形成第一压电开关沟道区域;所述第二信号线和第二电极与所述第二有源层连接,并在第二电极与第二信号线之间形成第二压电开关沟道区域;
步骤13、在完成步骤12的基板上沉积绝缘层,通过构图工艺形成包括第一过孔和第二过孔的图形,所述第一过孔开设在第一电极所在位置,所述第二过孔开设在第二电极所在位置;
步骤14、在完成步骤13的基板上沉积导电薄膜,通过构图工艺形成包括工作电极的图形,所述工作电极通过第一过孔与第一电极连接,通过第二过孔与第二电极连接。
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