[发明专利]一种用于交叉阵列结构存储器的整流器件有效

专利信息
申请号: 200910083500.5 申请日: 2009-05-06
公开(公告)号: CN101882628A 公开(公告)日: 2010-11-10
发明(设计)人: 刘明;左青云;龙世兵 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: H01L27/24 分类号: H01L27/24;H01L45/00;G11C13/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 交叉 阵列 结构 存储器 整流 器件
【权利要求书】:

1.一种用于交叉阵列结构存储器的整流器件,其特征在于,包括:

下电极;

上电极;以及

包含在上电极和下电极之间的功能层薄膜。

2.根据权利要求1所述的用于交叉阵列结构存储器的整流器件,其特征在于,所述上电极和下电极采用Pt、Ag、Pd、W、Ti、Al、Cu、TiN、ITO、IZO、YBCO、LaAlO3、SrRuO3和多晶Si中的任一种。

3.根据权利要求1所述的用于交叉阵列结构存储器的整流器件,其特征在于,所述功能层薄膜采用NiO、TiO2、CuOx、ZrO2、Ta2O5、Al2O3、CoO、HfOx、MoOx、ZnO、PCMO、LCMO、SrTiO3、BaTiO3、SrZrO和非晶硅中的任一种材料。

4.根据权利要求1所述的用于交叉阵列结构存储器的整流器件,其特征在于,所述功能层薄膜采用经过掺杂改性后的NiO、TiO2、CuOx、ZrO2、Ta2O5、Al2O3、CoO、HfOx、MoOx、ZnO、PCMO、LCMO、SrTiO3、BaTiO3、SrZrO和非晶硅中的任一种材料。

5.根据权利要求1所述的用于交叉阵列结构存储器的整流器件,其特征在于,所述功能层薄膜的厚度为10至200nm。

6.根据权利要求1所述的用于交叉阵列结构存储器的整流器件,其特征在于,所述上电极与所述功能层薄膜之间接触形成整流特性;或者

所述下电极与所述功能层薄膜之间接触形成整流特性。

7.根据权利要求1所述的用于交叉阵列结构存储器的整流器件,其特征在于,该器件开始处于低阻状态,并且在低阻态具有整流作用;或者

该器件开始处于高阻状态,通过施加一电压变成低阻态后具有整流作用。

8.根据权利要求1所述的用于交叉阵列结构存储器的整流器件,其特征在于,该器件处于低阻态后,电阻不会再发生转变;或者

该器件处于低阻态后,需要施加一大于3V的电压才能发生电阻转变。

9.根据权利要求1所述的用于交叉阵列结构存储器的整流器件,其特征在于,该整流器件处于低阻态时是局域通道导电,当器件面积缩小时,该整流器件的电流不显著减小,从而使得整流器件在小尺寸时获得很高的电流密度。

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