[发明专利]微机械传感装置电特性检测分析系统及方法

权利要求书

1.一种基于微机械电容的微机械传感装置电特性检测分析系统的前端检测装置，其特征 在于，包括电容数字转换模块(101)、D/A转换模块(102)、数字接口模块(103)、第一基 准模块(104)、第二基准模块(105)以及测试连接模块(106)；

所述电容数字转换模块(101)，用于检测待测器件的电容信息和温度信息，并将其检测 到的待测器件的电容信息和温度信息转换成数字信号，并输出出去；

所述数字接口模块(103)用于与外界连接，并传输外界发来的测试指令和传输所述电容 数字转换模块(101)传出的数据；

所述测试连接模块(106)将圆心角为120°的三个探针直接焊在PCB上，用于通过探针 与待测芯片连接；

所述D/A转换模块(102)用于将所述数字接口模块(103)传来的测试指令转换成模拟 信号并传输到所述测试连接模块(106)的中间极板上；

所述第一基准模块(104)用于在差分电容测试和可变电压调整线性度测试时给所述测试 连接模块(106)提供基准偏压；

所述第二基准模块(105)用于在差分电容测试和可变电压调整线性度测试时给所述测试 连接模块(106)提供基准偏压。

2.一种包含权利要求1所述的前端检测装置的微机械传感装置电特性检测分析系统，其 特征在于，包括前端检测装置(11)，数据处理装置(22)和计算机装置(33)；

所述前端检测装置(11)焊接在PCB电路板上，其测试线两边设有两排通孔，所述前端 检测装置(11)用于检测相应差分电容、上端电容、下端电容、寄生电容和可变电压调整线 性度以及温度信息，并将上述检测结果转换成数字信号输出；

所述数据处理装置(22)用于发送测试指令给所述前端检测装置(11)，令所述前端检测 装置(11)检测，将所述前端检测装置(11)传递来的数字信号进行处理，并将结果存储、 显示并发送出去；

所述计算机装置(33)用于发送开始指令到所述数据处理装置(22)，令所述数据处理装 置(22)指示所述前端检测装置(11)工作，接收所述数据处理装置(22)传递来的检测数 据，并进行处理，将最终处理结果进行显示并存储。

3.根据权利要求2所述的微机械传感装置电特性检测分析系统，其特征在于，所述数据 处理装置(22)包括DSP模块(201)、存储器模块(203)以及点阵显示屏模块(202)；

所述存储器模块(203)为可擦除的存储器，用于存储相应的数据；

所述点阵显示屏模块(202)用于显示数据；

所述DSP模块(201)用于进行不加电容测试，并将结果保存和输出，接收开始指令并发 送测试指令到所述前端检测装置(11)，将所述前端检测装置(11)发送来的数据处理并发送 出去，将数据送到所述存储器模块(203)进行存储，并将数据发送到所述点阵显示屏模块(202) 进行显示。

4.根据权利要求3所述的微机械传感装置电特性检测分析系统，其特征在于，所述计算 机装置(33)包括控制模块(301)、显示模块(302)和存储模块(303)；

所述显示模块(302)用于显示处理后的数据；

所述存储模块(303)用于存储处理后的数据；

所述控制模块(301)用于指示所述DSP模块(201)进行不加电容测试、进行初始零位 校准、并进行零位电容量保存，发送开始指令到所述DSP模块(201)，接收所述DSP模块(201) 传来的测试数据并进行用测试电容值数据减去零位电容量，将新数据替换已有的测试数据进 行平均处理，并将最终处理数据发送到所述显示模块(302)进行显示，发送到所述存储模块 (303)进行存储。