[发明专利]一种新型结构的透明导电薄膜及其制备方法

权利要求书

1、一种新型结构的透明导电薄膜，包括基板(1)、缓冲层(2)及透明导电薄膜(3)，其特征在于，在透明导电薄膜(3)的透明导电氧化物(4)中掺入一维导电材料(5)。

2、根据权利要求1所述的透明导电薄膜，其特征在于，透明导电氧化物(4)平均透过率大于80％，电阻率小于10^-3Ωcm。

3、根据权利要求1或2所述的透明导电薄膜，其特征在于，透明导电氧化物(4)选自：Sn掺杂In₂O₃透明导电氧化物、SnO₂基透明导电氧化物、ZnO基透明导电氧化物或CdO基透明导电氧化物中的一种或几种。

4、根据权利要求3所述的透明导电薄膜，其特征在于，SnO₂基透明导电膜，掺杂元素为F、Sb、In、Zn、Mn、Sr、Zr、Ge、Ce、Pt、Pd、Cd或Nd的一种或多种；ZnO基透明导电膜，掺杂元素为F、Sb、Zr、Al或Ga中的一种或多种。

5、根据权利要求1～4所述的任意一种透明导电薄膜，其特征在于，一维导电材料(5)的电阻率小于所掺杂的透明导电氧化物，并且尽量达到最小。

6、根据权利要求1～5所述的任意一种透明导电薄膜，其特征在于，一维导电材料(5)为金属纳米线、碳纳米管、金属纤维或纳米金属带的一种或者多种；一维导电材料(5)直径为1纳米到50纳米，长度从100纳米到10厘米。

7、根据权利要求1～6所述的任意一种透明导电薄膜，其特征在于，一维导电材料(5)随机的分布于透明导电氧化物(4)中；一维导电材料的掺杂浓度为1wt％～0.01wt％。

8、根据权利要求1～7所述的任意一种透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，利用超声喷雾热分解法在基板(1)上制备掺有一维导电材料(5)的新型透明导电薄膜。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，包括：配制所需前驱溶液，并利用超声波振荡使溶液及一维导电材料充分混合均匀，在超声雾化器中使前驱溶液雾化，然后用载气将雾化后的溶液及一维导电材料带入喷头，经过喷头后载流气体携带着雾滴与一维导电材料均匀地喷出，进入反应室，雾滴在下落过程中溶剂挥发雾滴缩小，落到衬底基板表面后平化，与此同时，一维导电材料随雾滴一块被沉积到基板表面，最后热分解反应，在衬底上成膜。

10.根据权利要求8或9所述的制备方法，其特征在于，沉积温度为100℃～800℃；载气流量为0.1～10m³/h。