[发明专利]大口径光学镜面Ronchi光栅定量检测仪

权利要求书

1、大口径光学镜面Ronchi光栅定量检测仪，其特征在于：包括计算机系统(1)、高精度数字彩色CCD(2)、大数值孔径光纤光源(3)、可更换式Ronchi光栅(4)，被测光学镜面(5)，反射镜(6)；计算机系统(1)与高精度数字彩色CCD(2)连接，大数值孔径光纤光源(3)发出的光将可更换式Ronchi光栅(4)投影到待测光学镜面(5)上，并由待测光学镜面(5)反射回到可更换式Ronchi光栅(4)上，这样反射回的投影与可更换式Ronchi光栅(4)自身发生叠加而产生阴影图，这个阴影图经过反射镜(6)反射后通过高精度数字彩色CCD(2)采集后传输到计算机系统(1)里，由安装在计算机系统(1)上的数据处理软件把可分辨阴影条纹对应的面形数据信息提取出来，从而获得被测待测光学镜面(5)的面形信息。

2、根据权利要求1所述的大口径光学镜面Ronchi光栅定量检测仪，其特征在于：所述的大数值孔径光纤光源(3)采用光纤输出端面，其光纤入口处的照度最大值能达500,00 0lux，并采用直流可调式，使用光纤的数值孔径为0.22或者0.37。

3、根据权利要求1所述的大口径光学镜面Ronchi光栅定量检测仪，其特征在于：所述的可更换式Ronchi光栅(4)根据不同的误差范围可以更换。

4、根据权利要求3所述的可更换式Ronchi光栅(4)，其特征在于：所述的可更换式Ronchi光栅(4)可以是直条纹的Ronchi光栅，也可以是弯曲条纹的补偿Ronchi光栅。

5、根据权利要求1所述的大口径光学镜面Ronchi光栅定量检测仪，其特征在于：所述的计算机系统(1)中装有光栅灵敏度计算分析软件和非球面面形分析处理软件；光栅灵敏度计算分析软件能够根据不同的测量要求自动计算所需要使用的Ronchi光栅频率；非球面面形图像分析处理软件能够自动绘制光栅图形，并能根据探测到的阴影图计算待测镜面面形和重建波前。

6、根据权利要求1所述的大口径光学镜面Ronchi光栅定量检测仪，其特征在于：在测量非球面时，可更换式Ronchi光栅(4)采用水平方向和垂直方向的补偿光栅对，可以不用更换Ronchi光栅而只移动光栅的位置来实现待测光学镜面(5)的精确测量。