[发明专利]一种基于Fringe Zernike多项式的光机热集成分析方法

权利要求书

1、一种基于Fringe Zernike多项式的光机热集成分析方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)将光学系统的有限元结果进行坐标变换和数据处理，转化为适合光学分析软件的数据格式；

(2)设置Fringe Zernike多项式项数并求解多项式，进行面型拟合，将拟合结果写入dat文件；

(3)利用dat文件作为Zernike拟合与光学分析软件的接口，实现对光学系统进行光机热集成分析。

2、根据权利要求1所述的一种基于Fringe Zernike多项式的光机热集成分析方法，其特征在于：所述步骤(1)中的数据处理采用可视化界面，选择光轴方向。

3、根据权利要求1所述的一种基于Fringe Zernike多项式的光机热集成分析方法，其特征在于：所述步骤(1)中数据处理是基于矢高的数据处理方法。

4、根据权利要求1所述的一种基于Fringe Zernike多项式的光机热集成分析方法，其特征在于：所述步骤(2)中设置Fringe Zernike多项式的项数并求解多项式可以根据需要求解任意项Fringe Zernike多项式。

5、根据权利要求1所述的一种基于Fringe Zernike多项式的光机热集成分析方法，其特征在于：所述步骤(2)中Fringe Zernike多项式的求解通过以下四个步骤实现：

(a)、归一化经数据处理后在极坐标下的有限元结果半径ρ，初始化变量；

(b)、在一重循环中，变量n从0递增到级数number，其中每一个n值对应偶数个含角度项和一个不含角度项；

(c)、在含有角度项的外循环中，变量m从n递减到1，在含有角度项的内循环中，递推变量s从0递增到n-m，累加递推项，求解含角度项并递增项数序号index，其递推项ploytemp=(-1)s(2n-m-s)!s!(n-s)!(n-m-s)!ρ(2(n-s)-m);]]>

(d)、在不含有角度项的循环中，递推变量s从0递增到n，累加递推项，求解不含角度项并递增项数序号index，其递推项ploytemp=(-1)s(2n-s)!s!(n-s)!(n-s)!ρ2(n-s).]]>