[发明专利]一体式分压型氧气传感器的制造方法

权利要求书

1.一体式分压型氧传感器，包括：

它是采用高温陶瓷共烧结工艺技术，将绝缘层、加热器、测温器、浓差池电解质、泵池电解质、气体通道、气密工作腔室，经过叠层、层压成一体，共烧成具有一体式加热器和测温功能的分压型氧传感器。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中所述的绝缘层，其特征是：利用丝网印刷工艺将绝缘层浆料印刷到5％molY₂O₃部分稳定氧化锆的流延生瓷片上。浆料成分：氧化铝。印刷厚度25μm-30μm。

3.根据权利要求1所述的制造方法，其中所述的加热器，其特征是：利用丝网印刷工艺将Pt浆料印刷到带有绝缘层的氧化锆流延生瓷片上，构成加热器线条。Pt浆料的方阻：≤110mΩ/□。印刷厚度15μm-25μm。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其中所述的测温器，利用丝网印刷工艺将Pt浆料印刷到5％molY₂O₃部分稳定氧化锆的流延生瓷片上，构成加热器线条。Pt浆料的方阻：≤50mΩ/□。印刷厚度18μm±2μm。

5.根据权利要求1所述的制造方法，其中所述的浓差池和泵池电解质，其特征是：5％molY₂O₃部分稳定氧化锆的流延生瓷片。生瓷片的烧结收缩率在18％-20％范围内。

6.根据权利要求1所述的制造方法，其中所述的气体通道、气密工作腔室、的结构，其特征是：传感器含有两个气体通道和一个气密腔室的结构。