[发明专利]一种运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法

权利要求书

1、一种运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法，包括以下步骤：

(1)确定孔坑上的测量点：A1和A2，A1位于孔坑的孔坑底部，A2位于孔坑外边缘上；

(2)测量点A1至所述扫描电子显微镜的镜筒极靴的距离Z1，所述Z1值通过计算机软件将其显示输出；

(3)测量点A2至所述扫描电子显微镜的镜筒极靴的距离Z2，所述Z2值通过计算机软件将其显示输出；

(4)计算出孔坑深度h，h＝Z1-Z2。

2、根据权利要求1所述运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法，其特征在于：所述Z1等于所述扫描电子显微镜的镜筒极靴至测量点A1的焦距长度f，f=KUr(IN)2,]]>K为常数；Ur为经相对论校正的电子加速电压；(IN)为电磁透镜安匝数。

3、根据权利要求1或2所述运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法，其特征在于：所述Z2等于所述扫描电子显微镜的镜筒极靴至测量点A2的焦距长度f，f=KUr(IN)2,]]>K为常数；Ur为经相对论校正的电子加速电压；(IN)为电磁透镜安匝数。

4、根据权利要求3所述运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法，其特征在于：所述扫描电子显微镜在测量A1和A2时，所述扫描电子显微镜的镜筒极靴保持位置不变。

5、根据权利要求1至4中任何一项所述运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法，其特征在于：所述扫描电子显微镜测量A1和A2时，各自采用经相对论校正的电子加速电压Ur值以及电子束斑尺寸大小应保持一致。