[发明专利]用于宽带离子束的质量分析磁铁及注入机系统

权利要求书

1.一种用于宽带离子束的质量分析磁铁，其特征在于，包括磁体以及连有电源 的线圈；所述磁体包括磁极、磁轭以及磁屏蔽板；所述磁轭和所述磁屏蔽板 连接所述磁极；所述磁极包括上磁极和下磁极；所述磁屏蔽板包括上磁屏蔽 板以及下磁屏蔽板；所述上磁极与下磁极间设有供宽带离子束以一定路线通 过的磁场空间；所述线圈包括上线圈和下线圈；所述上线圈和下线圈生成让 宽带离子束偏转的磁场；所述上线圈和下线圈分别缠绕在所述上磁极和下磁 极上；所述磁体设有质量选择狭缝；所述质量选择狭缝位于所述磁体的中部 并让其所期望的离子通过。

2.根据权利要求1所述用于宽带离子束的分析磁铁，其特征在于：所述上磁 极和所述下磁极分别包括前半部和后半部；所述前半部和后半部连接在一起； 所述前半部和后半部以它们的连接面对称或不对称；所述前半部让离子束从 其一边进入磁体并从所述后半部的一边出去。

3.根据权利要求1所述用于宽带离子束的分析磁铁，其特征在于：所述上磁 屏蔽板与所述上磁极相连接；所述下磁屏蔽板与所述下磁极相连接；所述上 线圈环绕所述上磁极部分；所述下线圈环绕所述下磁极部分；所述上磁极以 及下磁极的表面设计为产生均匀磁场分布或非均匀磁场分布的表面；所述均 匀磁场分布将引导离子以相等偏转半径的曲线轨道运动；所述非均匀磁场分 布将引导离子以不相等偏转半径的曲线轨道运动。

4.根据权利要求1-3任一所述用于宽带离子束的分析磁铁，其特征在于：所 述磁体的内部设有焦斑区，所述焦斑区为通过的宽带离子束在所述磁体的中 部被聚焦而形成，所述质量选择狭缝设置在焦斑区。

5.根据权利要求4所述用于宽带离子束的分析磁铁，其特征在于：所述上磁 极与所述上磁屏蔽板相应的边为宽带离子束的进入边或出去边，其为平面或 曲面形状；所述下磁极与所述下磁屏蔽板相应的边为宽带离子束的进入边或 出去边，其为平面或曲面形状；所述曲面为凸表面或凹表面形状；所述一定 路线为类似圆形或类似椭圆形路线。

6.根据权利要求5所述用于宽带离子束的分析磁铁，其特征在于：所述上磁极 和下磁极的端部分别设有活动旋转磁极头，所述活动旋转磁极头旋转一定的 角度。