[发明专利]真空容器内光学平台支撑装置

说明书

技术领域

本发明属于光学精密仪器技术领域，具体涉及一种真空内高稳定光学平台的支撑装置，尤其是能隔离真空变形和机组振动对光学平台的影响。

背景技术

现有的用于真空环境下光学平台，由于直接支撑于真空壳体上，受到抽真空时壳体的抽真空变形的影响，以及真空机组运行时机组振动的影响，使光学平台出现漂移和晃动；如果此类光学平台对结构稳定性有较高的要求，一般采取的措施是：1)将真空壳体(特别是支撑光学平台的部位)加厚，并设置防变形槽；2)在真空壳体与光学平台支撑联接部位设置阻尼结构，降低振动的传递。以上方法的不足之处在于，一是使真空壳体的厚度、重量增大，导致加工成本增加，其二是无法从根本上隔断真空壳体变形，以及真空机组运行振动对高稳定光学平台的影响。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种真空容器内光学平台支撑装置。

本发明的真空容器内光学平台支撑装置的真空壳体通过真空壳体支座直接固定于支撑平台上，光学平台支座与光学平台连接后穿过真空壳体固定于支撑平台上；光学平台支座与真空壳体采用无刚性接触；波纹管的上端法兰与真空壳体密封连接，波纹管的下端法兰与光学平台支座密封连接。

所述的波纹管采用不锈钢焊接波纹管。

本发明中的真空环境下的光学平台与真空壳体的支撑分别采用独立的刚性支撑结构，独立的刚性支撑装置不直接接触，使真空壳体变形和真空机组振动不能直接传递到光学平台；光学平台支座穿过真空壳体，并且没有刚性接触；真空壳体与光学平台间由柔性金属波纹管联接，既保证真空要求，又实现了刚性隔离，阻止了振动的传递。

本发明的真空容器内光学平台支撑装置使真空环境下的光学平台不受真空变形和真空机组振动的影响，具有较高的稳定性。

附图说明

图1是本发明的真空容器内光学平台支撑装置实施例的剖面结构示意图。

图中，1.真空壳体  2.真空壳体支座  3.光学平台  4.光学平台支座  5.波纹管  6.支撑平台

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

如图1所示，本发明的真空容器内光学平台支撑装置含有：真空壳体1、真空壳体支座2、光学平台3、光学平台支座4、波纹管5、支撑平台6。真空壳体1通过真空壳体支座2直接支撑于支撑平台6上，光学平台3与光学平台支座4相联后，穿过真空壳体1，支撑于支撑平台6上，圆柱状的金属波纹管5的上端法兰与真空壳体1密封法兰联接，波纹管5的下端法兰与光学平台支座4密封联接；为保证隔振效果，光学平台3、光学平台支座4与真空壳体1间没有直接接触，利用波纹管的柔性隔离真空壳体1变形和真空机组振动对光学平台3的影响；波纹管5采用不锈钢焊接波纹管。