[发明专利]晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构

权利要求书

1.一种晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，包括可转动台面、设置于所述可转动台面上的法兰，且所述法兰周缘具有至少三个均匀分布的第一螺孔，所述可转动台面具有对应所述第一螺孔的第二螺孔，其特征在于，所述调节机构还包括：

微调空心螺丝，旋设于所述第一螺孔，并具有对应所述第一螺孔的外螺纹，所述微调空心螺丝顶端具有卡槽；

空心螺帽，底端具有对应卡合至所述卡槽的卡块，中部具有挡止部以及顶端具有操作部；

球面垫座，位于所述微调空心螺丝与所述可转动台面之间，且所述球面垫座底面为平面；

球面垫圈，位于所述微调空心螺丝与所述球面垫座之间，所述球面垫圈容置于所述球面垫座中；以及

紧固螺栓，依次穿过所述空心螺帽、微调空心螺丝、球面垫圈及球面垫座锁固于所述第二螺孔。

2.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于：所述空心螺帽的挡止部的直径大于所述第一螺孔的孔径。

3.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于：所述空心螺帽的操作部呈六角螺帽结构。

4.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于：所述微调空心螺丝的底端抵靠于所述球面垫圈上。

5.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于：连通所述第一螺孔的底端具有容置沉孔，用于容置所述球面垫圈及球面垫座。

6.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于：所述球面垫座具有凹形球面。

7.如权利要求6所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于：所述球面垫圈与所述球面垫座的凹形球面相吻合。