[发明专利]滚珠丝杠的激光螺距测量仪及其测量方法

权利要求书

1.一种滚珠丝杠的激光螺距测量仪，其特征在于，其包括主轴箱、机座、阻尼机构、跟踪测量机构、尾架和激光发射机构，主轴箱、尾架和激光发射机构固定在机座上，阻尼机构和跟踪测量机构顺序地排列在主轴箱和尾架之间，阻尼机构和跟踪测量机构通过一滑板与机座滑动配合，激光发射机构位于尾架的外侧。

2.如权利要求1所述的滚珠丝杠的激光螺距测量仪，其特征在于，所述机座和滑板的材料采用天然花岗岩。

3.如权利要求1所述的滚珠丝杠的激光螺距测量仪，其特征在于，所述机座和滑板的相互运动方式为气浮静压导轨方式。

4.如权利要求1所述的滚珠丝杠的激光螺距测量仪，其特征在于，所述滚珠丝杠的激光螺距测量仪还包括滚轮支撑机构，滚轮支撑机构位于主轴箱和尾架之间。

5.如权利要求4所述的滚珠丝杠的激光螺距测量仪，其特征在于，所述滚轮支撑机构采用气浮式滚轮支撑机构且具有两个轴承。

6.如权利要求5所述的滚珠丝杠的激光螺距测量仪，其特征在于，所述主轴箱上设有第一顶针和圆光栅，跟踪测量机构为浮动式跟踪测量机构且具有双点测量头或单点测量头，尾架上设有第二顶针，滚珠丝杠由第一顶针和第二顶针夹持，激光发射机构具有水平方向对称的双通道激光尺系统。

7.如权利要求6所述的滚珠丝杠的激光螺距测量仪，其特征在于，所述双通道激光尺系统采用激光干涉仪。

8.一种如权利要求7所述的滚珠丝杠的激光螺距测量仪对滚珠丝杠螺距的测量方法，其特征在于，该测量方法还需采用一计算机及其控制的交流伺服电机，该测量方法包括以下步骤：

S1、将滚珠丝杠放入测量仪中，通过第一顶针和第二顶针将滚珠丝杠夹持，并通过滚轮支撑机构的两个轴承夹住和支撑；

S2、由计算机控制的交流伺服电机通过机械装置无间隙地带动滚珠丝杠旋转，滚珠丝杠的旋转角度量由装在主轴箱上的圆光栅发出信号给计算机；

S3、滚珠丝杠旋转时，滚珠丝杠的螺纹槽作轴向移动来带动跟踪测量机构的双点测量头或单点测量头与双通道激光尺系统随同滑板一起轴向移动，滚珠丝杠的轴向位移量由双通道激光尺系统发出信号给计算机；

S4、由计算机采集并处理滚珠丝杠的旋转角度量和轴向位移量，并通过比较计算出滚珠丝杠的螺距和误差值。