[发明专利]光刻机控制系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种光刻机控制系统。

背景技术

在光刻机的控制系统中，各个分系统的控制单元是由各自的VME(VersaModule Eurocard)机箱来实现的，而VME机箱中通常设置有中央处理器(Power PC)。为实现对VME机箱中的中央处理器的远程操作，在当前的工业设计中，通常将对所有中央处理器的控制信号连接在一块控制板卡上，按照既定的协议或电信号实现对中央处理器进行操作。

请参阅图1，图1是一种现有技术的光刻机控制系统的结构示意图。所述光刻机控制系统10包括总控制系统11、和所述总控制系统11相连的控制板12以及各个分系统的中央处理器13。所述中央处理器13分别与所述控制板12连接。

图1以具有4个分系统的光刻机控制系统10为例，所述控制板12包五个对外接口，其中一个接口用于与所述总控制系统11通讯，其余四个接口用于与各个分系统的中央处理器13通讯。这种设计的优点是所述控制板12的结构设计简单，不需要复杂的电路设计以及控制程序设计。

但是，当所述光刻机控制系统10需要升级系统或者增加分系统的数量时，由于所述控制板12对外接口的数量是固定的，新增加的分系统的中央处理器13无法通过所述控制板12的接口而与所述总控制系统11进行通讯。因此，所述光刻机控制系统10的可扩展性差。

当使用所述光刻机控制系统10的光刻机的机械结构重新设计时，受限于新的安装方式与安装尺寸，所述控制板13不得不进行相应的机械尺寸的改动，造成同一种功能的控制板13具有不同的尺寸，所述光刻机控制系统10的可兼容性差，不利于降低所述光刻机控制系统10的开发成本。

发明内容

为了解决现有技术的光刻机控制系统的扩展性和兼容性差的技术问题，有必要提供一种能够增加光刻机的扩展性和兼容性的光刻机控制系统。

一种光刻机控制系统，包括多个分控制系统，每一分控制系统均包括一用于控制所述分控制系统的中央处理器；多个从控制板，每一从控制板连接一所述分控制系统的中央处理器；一主控制板，通过开放式控制总线与所述多个从控制板连接；总控制系统，通过所述主控制板和所述从控制板控制所述多个分控制系统；所述光刻机控制系统调整与所述主控制板连接的从控制板的数量，从而调整所述光刻机控制系统的分控制系统的数量。

其中，所述开放式控制总线为RS232总线或者RS485总线或者I2C总线或者CAN总线。所述主控制板包括一存储器，所述主控制板通过访问所述从控制板来获取所述从控制板连接的中央处理器的数据，并将所得数据记录在所述存储器中，以供所述总控制系统查询。

所述从控制板设置于一板卡盒中，所述板卡盒包括一数据线接口和一总线接口，所述数据线接口通过数据线与所述分控制系统的中央处理器连接。所述主控制板设置于一板卡盒中，所述板卡盒包括一第一总线接口和一第二总线接口，所述第一总线接口通过所述开放式控制总线连接所述从控制板板卡盒的总线接口，所述第二总线接口与所述总控制系统连接。

所述从控制板的总线接口设置于所述板卡盒的一个侧面，所述板卡盒的与所述侧面相背的另一侧面设有一插孔，所述插孔用于收容另一从控制板的总线接口的插针。所述主控制板的第一总线接口设置于所述板卡盒的一个侧面，所述板卡盒的与所述侧面相背的另一侧面设有一插孔，插孔用于收容所述从控制板的总线接口的插针。所述光刻机控制系统还包括一导轨，所述从控制板的板卡盒与所述主控制板的板卡盒通过所述插孔安装于所述导轨上。

与现有技术相比，本发明的光刻机控制系统包括主控制板和多个从控制板，所述主控制板和所述从控制板通过开放式控制总线连接。当所述光刻机控制系统需要增加新的分系统时，将所述新增的分系统的从控制板接入所述开放式控制总线，所述主控制板通过所述开放式控制总线访问所述新增分系统的从控制板，进而访问所述新增分系统的中央处理器，即所述光刻机控制系统通过调整与所述主控制板连接的从控制板的数量，调整所述光刻机控制系统的分控制系统的数量，从而提高了所述光刻机控制系统的兼容性和扩展性。本发明的光刻机控制系统的主控制板和从控制板都设置在板卡盒中，所述从控制板的板卡盒的总线接口插入所述主控制板的板卡盒的插口，从而实现所述主控制板和所述从控制板的总线连接。当所述光刻机控制系统的分系统的机械结构发生变化时或者各分系统的接口尺寸不一致时，通过所述从控制板与所述主控制板的板卡盒也可实现连接。本发明的光刻机控制系统组装方便，对系统结构尺寸的依赖性小。

附图说明