[发明专利]一种防止新鲜高温氧化表面光致抗蚀剂翘曲的方法

权利要求书

1.一种防止新鲜高温氧化表面光致抗蚀剂翘曲的方法，其包括如下步骤：

提供待加工晶圆；

加热晶圆使晶圆表面形成高温氧化表面；

使用甲基二硅胺对晶圆表面进行蒸镀；

涂布光致抗蚀剂；

其特征在于：在加热晶圆形成高温氧化表面后，在使用甲基二硅胺对晶圆 表面进行蒸镀之前，还包括：将晶圆在水中进行浸泡并且烘干晶圆。

2.根据权利要求1中所述的防止新鲜高温氧化表面光致抗蚀剂翘曲的方法， 其特征在于所述将晶圆在水中进行浸泡，以使高温氧化表面变为亲水性状 态，时长为60秒。

3.根据权利要求1或2中所述的防止新鲜高温氧化表面光致抗蚀剂翘曲的 方法，其特征在于所述加热晶圆使晶圆表面形成高温氧化表面的步骤中将 晶圆放置于炉管中，充入反应气体，反应温度为800度。

4.根据权利要求3中所述的防止新鲜高温氧化表面光致抗蚀剂翘曲的方法， 其特征在于所述反应气体为SiH₂Cl₂和N₂O。

5.根据权利要求1或2中所述的防止新鲜高温氧化表面光致抗蚀剂翘曲的 方法，其特征在于使用甲基二硅胺对晶圆表面进行蒸镀的步骤中反应腔温 度保持在110度，蒸镀时间约为36秒。