[发明专利]一种三维纳米负载型催化剂的制备方法无效
| 申请号： | 200910052606.9 | 申请日： | 2009-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN101574670A | 公开（公告）日： | 2009-11-11 |
| 发明（设计）人： | 陈燕;宋新山;李洋;柳建设;李登新 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | B01J35/10 | 分类号： | B01J35/10;B01J37/00;B01J37/02;B01J21/06;B01J23/755;B01J23/52;C02F1/30;C02F1/72;A61L9/18;A62D3/10;A62D3/38;C02F101/30;A61L101/02 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 | 代理人： | 黄志达;谢文凯 |
| 地址： | 201620上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 三维 纳米 负载 催化剂 制备 方法 | ||
1.一种三维纳米负载型催化剂的制备方法，包括：
(1)在衬底上均匀地覆盖含有纳米球的溶液，干燥；
(2)以纳米球为模板的刻蚀：以纳米球为掩模板，通过纳米球与衬底的不同刻蚀或腐蚀速率，采用干法刻蚀或湿法腐蚀；
(3)在上述刻蚀出的载体上沉积催化剂材料，即得三维纳米负载型催化剂；其中载体在三维方向的尺寸均在纳米量级；阵列中每个纳米柱状载体周围包覆着催化剂材料，形成负载催化剂的纳米柱状阵列。
2.根据权利要求1所述的一种三维纳米负载型催化剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)衬底选自硅片、石英、普通玻璃、陶瓷基片、SiNx中的一种。
3.根据权利要求1所述的一种三维纳米负载型催化剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)用化学气相沉积方法在玻璃上制备厚度为200-2000nm的SiNx薄膜作为衬底。
4.根据权利要求1所述的一种三维纳米负载型催化剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)纳米球溶液通过溶胶法或水热法制备；形状为球状或椭球状。
5.根据权利要求1所述的一种三维纳米负载型催化剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)干法刻蚀为反应离子刻蚀。
6.根据权利要求1所述的一种三维纳米负载型催化剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)湿法腐蚀采用硫酸、氢氟酸或磷酸腐蚀。
7.根据权利要求1所述的一种三维纳米负载型催化剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)催化剂材料为TiO2、Ni、Au或Ni、Au两者的复合，采用磁控溅射技术或浸渍法沉积。
8.根据权利要求1所述的一种三维纳米负载型催化剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)催化剂为单层催化剂或多层催化剂。
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