[发明专利]三维移动正交结构微纳操作台

权利要求书

1、一种三维移动正交结构微纳操作台，其特征在于包括基座、工作台、三个P-4S支链和压电陶瓷驱动器，基座与工作台之间通过三个由柔性铰链构成的P-4S支链相联，这三个P-4S支链分别沿三个相互垂直的方向布置，且各组支柱轴线构成的平面相互垂直，在每个P-4S支链相对应的基座上设置一个弹性平行板移动副，每个弹性平行板移动副设置一个压电陶瓷驱动器。

2、根据权利要求1所述的三维移动正交结构微纳操作台，其特征是，所述的P-4S支链，每一个P-4S支链包括：弹性平行板移动副、第一连杆、第一球铰、第四球铰、第二连杆、第三连杆、第四连杆、第五连杆、第二球铰和第三球铰，其中：第一、二、三连杆，第一、二、三、四球铰和工作台组成弹性4S机构，弹性4S机构通过第一连杆与弹性平行板移动副相连，弹性平行板移动副通过第四连杆和第五连杆与基座相连。

3、根据权利要求1所述的三维移动正交结构微纳操作台，其特征是，所述压电陶瓷驱动器的中心轴线通过P-4S支链中的第一球铰与第四球铰连线的中点及第二球铰与第三球铰连线的中点。

4、根据权利要求1或者2所述的三维移动正交结构微纳操作台，其特征是，所述弹性平行板移动副通过弹性球铰与工作台相连接。