[发明专利]在玻璃基片表面磷酸基硅烷-氮化钛复合薄膜的制备方法

权利要求书

1、在玻璃基片表面磷酸基硅烷—氮化钛复合薄膜的制备方法，其特征在于按如下步骤进行：

A)将玻璃基片置于体积比98％浓硫酸:30％H₂O₂＝1:1的溶液中于室温下处理1小时，再用去离子水超声清洗20分钟，放在一个防尘装置内在烘箱中干燥；

B)将处理后的玻璃基片浸入配制好的氨基硅烷溶液中，静置12小时，取出后分别用无水甲醇、去离子水冲洗，然后用氮气吹干置于含有三氯氧化磷和2，3，5—三甲基吡啶的氰化甲烷溶液中反应20分钟，取出后用去离子水冲洗，得到表面附有磷酸基团的薄膜基片。

C)再将氮化钛在室温下按0.05～0.15mg/ml放入N，N-二甲基甲酰胺分散剂，40W超声波分散2～6小时，得到稳定的氮化钛悬浮液；

D)将表面附有磷酸基团的薄膜基片浸入制备好的氮化钛悬浮液中，在20～60℃静置4～16小时，取出用大量去离子水冲洗，冲洗后用氮气吹干，这样就得到表面沉积有改性氮化钛复合薄膜的玻璃基片。

2、根据权利要求1所述的在玻璃基片表面磷酸基硅烷—氮化钛复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述的氨基硅烷溶液中氨基硅烷的的体积百分比为0.5～2％，溶剂为无水甲醇。

3、根据权利要求1所述的在玻璃基片表面磷酸基硅烷—氮化钛复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述氰化甲烷溶液的组分体积百分比为：三氯氧化磷15～25％，2，3，5—三甲基吡啶15～25％，氰化甲烷50～70％。