[发明专利]光束扫描激光器

权利要求书

1、一种光束扫描激光器，包括同光轴依次设置的全反射的后腔镜(5)、激光介质(1)、激光输出装置，其特征是在所述的激光介质(1)和激光输出装置之间的激光腔内还有空间光相位调制器(2)。

2、根据权利要求1所述的光束扫描激光器，其特征在于所述的激光输出装置是内表面为凹面并具有一定反射率的镀膜层(4)的平凹面输出腔镜(3)。

3、根据权利要求1所述的光束扫描激光器，其特征在于所述的激光输出装置由分束片(6)、Q开关元件(7)、第一凹面全反射腔镜(31)和第二凹面全反射腔镜(32)构成，所述的分束片(6)和第一凹面全反射腔镜(31)在所述的后腔镜(5)、激光介质(1)、空间光相位调制器(2)的光轴的延长线上且共光轴，所述的分束片(6)与所述的光轴成45°，在所述的分束片(6)的反射线方向依次是Q开关元件(7)和第二凹面全反射腔镜(32)。

4、根据权利要求1所述的光束扫描激光器，其特征在于所述的激光输出装置由平面衍射光栅(8)和凹面全反射的腔镜(33)构成；所述的凹面全反射的腔镜(33)具有方向可变的全反射功能。

5、根据权利要求1所述的光束扫描激光器，其特征在于所述的激光输出装置是内表面为凹面并具有一定反射率的镀膜层(41)和外表面为凹面并具有增透膜(42)的双凹面输出腔镜(34)。

6、根据权利要求1所述的光束扫描激光器，其特征在于所述的激光输出装置是棱镜(9)，该棱镜(9)朝激光腔内的一个平面镀有激光增透膜(92)，该棱镜(9)朝激光腔外的另一个平面上胶合一个柱面平凸镜(91)，其凸面上镀有高反膜，该棱镜(9)的斜面为激光输出面。

7、根据权利要求1至6任一项所述的光束扫描激光器，其特征在于所述的空间光相位调制器(2)是叠层型电光空间相位调制器，其结构是由多块具有一定长度L、厚度H和宽度K的上下两面(LxK)镀金属电极(22)的电光材料平板(21)沿厚度方向叠合而成，奇数层电极利用导线(23)相连为一个电极，偶数层电极利用导线(23)相连为另一个电极。

8、根据权利要求7所述的光束扫描激光器，其特征在于所述的电光材料平板(21)的厚度Hi，由下而上依次为H_i～i^-1/2，其中i为电光材料平板(21)的序号。

9、根据权利要求7所述的光束扫描激光器，其特征在于所述的电光材料平板(21)的长度L由下而上依次变短或加长。

10、根据权利要求7所述的叠层型电光空间相位调制器，其特征在于所述的电光材料平板(21)是由一次电光效应材料制成的，奇数层电光材料平板(21)的晶向与偶数层电光材料平板(21)的晶向相互正交，入射光束方向为两正交晶轴夹角的平分线。