[发明专利]照明顶部模块安装调整机构

权利要求书

1.一种光刻机照明顶部模块安装调整机构，包括一安装座板，所述安装座板和照明顶部模块之间设有一调整定位装置，所述照明顶部模块设于投影物镜镜片的上方，其特征在于：所述安装座板和照明顶部模块之间还设有用于水平移动照明顶部模块的移动装置和用于上下移动照明顶部模块的升降装置，水平移动具有使投影物镜镜片完全露出的行程，上下移动的行程使得照明顶部模块安全进行水平移动。

2.如权利要求1所述的光刻机照明顶部模块安装调整机构，其特征在于：所述的移动装置设于安装座板上，所述的升降装置设于所述的移动装置上。

3.如权利要求2所述的光刻机照明顶部模块安装调整机构，其特征在于：所述移动装置包括一移动气缸、移动导轨和滑块，所述移动气缸和移动导轨设置在所述安装座板上，所述移动气缸的输出轴与所述滑块固定连接，所述滑块上设有与所述移动导轨相配合的滑槽。

4.如权利要求3所述的光刻机照明顶部模块安装调整机构，其特征在于：所述升降装置为固设于所述滑块上的起升气缸，所述起升气缸的输出轴与所述照明顶部模块固定连接。

5.如权利要求1所述的光刻机照明顶部模块安装调整机构，其特征在于：所述调整定位装置分成四个单元，每个单元包括调整框、定位座、定位销、调整垫片、调整螺钉和连接座板，所述连接座板与所述照明顶部模块固定连接，所述定位座设置在所述调整框内，所述调整螺钉的一端穿过所述调整框的侧板与所述定位座相接触，所述调整框固设于安装座板上，所述定位座内设有与定位销的下部配合的孔，所述定位销的下部依次穿过所述连接座板、调整垫片后穿入所述定位座的孔内。

6.如权利要求5所述的光刻机照明顶部模块安装调整机构，其特征在于：所述定位座上还设置有若干锁紧螺钉。

7.如权利要求5所述的光刻机照明顶部模块安装调整机构，其特征在于：还包括一扭簧锁紧气动打开的锁紧装置，其包括解锁气缸、锁钩、扭簧和锁钩支板，所述锁钩支板与所述安装座板固定连接，扭簧一端与锁钩支板固定连接，另一端与锁钩的一端连接，所述锁钩的另一端与解锁气缸的输出轴固定连接，扭簧在锁紧状态时将锁钩压紧在连接座板上，解锁气缸用于将锁钩打开。

8.如权利要求1所述的光刻机照明顶部模块安装调整机构，其特征在于：所述照明顶部模块和安装座板之间设有一缓冲装置。

9.如权利要求8所述的光刻机照明顶部模块安装调整机构，其特征在于：所述缓冲装置为液压缓冲器。