[发明专利]耐腐涡轮分子泵叶片的等离子体处理方法无效
| 申请号： | 200910047037.9 | 申请日： | 2009-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN101497982A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 孙卓;张哲娟;孙鹏;刘素霞 | 申请（专利权）人： | 苏州晶能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36;F04D19/04;F04D29/38 |
| 代理公司： | 北京连城创新知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘伍堂 |
| 地址： | 215024江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 叶片 等离子体 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种耐腐涡轮分子泵叶片的等离子体处理方法，其特征在于包括如下步骤：(1)等离子体清洗：将叶片放入等离子体处理装置的真空腔体内并抽真空至小于1Pa，以10-500sccm的流量通入Ar，气压保持在1-200Pa，加射频功率400-2000W，等离子体清洗5-10min；(2)等离子体氧化或氮化：将O2或N2或NH3，以50-500sccm的流量通入真空腔体内，气压在1Pa-1KPa，加射频功率100-5000W，温度控制在200-400℃，功率密度为1-60W/cm2处理1-5h。
2、如权利要求1所述的一种耐腐涡轮分子泵叶片的等离子体处理方法，其特征在于：所述的等离子体处理装置为电容耦合式等离子体处理装置或电感耦合式等离子体处理装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州晶能科技有限公司，未经苏州晶能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910047037.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：井下湿配连接
- 下一篇：一种具有发电功能的可调液压减压装置
- 同类专利
- 专利分类
