[发明专利]节流阀测试方法及设备

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造领域及流量控制领域，尤其涉及节流阀测试方法及设备。

背景技术

半导体制造过程中常使用节流阀控制气体流量，以适应相关工艺要求。由于半导体制造工艺的精确度要求极高，如果工艺中气流量有偏差，则可能导致制造失败，因此测试节流阀能否在预定时间内准确控制气体流量至关重要。

现有节流阀包括步进电机、机械驱动装置及碟形阀，其中步进电机用于控制机械驱动装置带动碟形阀转动，以通过调节碟形阀转动的角度来调节流过该节流阀的气流量。

步进电机的转动是由脉冲控制的，即步进电机接收到一个脉冲后，步进电机旋转一定幅度，控制机械驱动装置带动碟形阀转动一个角度，再在接收到下一个脉冲后，步进电机才又旋转一定幅度，控制机械驱动装置带动碟形阀再转动一个角度，因此碟形阀转动的角度与输入步进电机的脉冲数对应。

目前该节流阀的实际应用中，有时会出现下述问题：在输入步进电机预定脉冲数后，碟形阀旋转的角度却小于预定角度，这导致通过节流阀调节的气流量误差较大，将会影响半导体制造的产品的质量。

但由于目前缺乏一种能够在节流阀离线闲置即未实际工作控制气体流量时来测试节流阀的方案，因此可能采用上述有问题的节流阀控制半导体制造工艺中的气体流量，也就很可能降低制造出的半导体产品的质量，甚至使得产品制造失败，浪费制造产品所消耗的人力、物力及时间等制造成本。

发明内容

本发明提供节流阀测试方法及设备，以避免使用有故障的节流阀来控制流量而可能带来的产品质量降低及产品制造失败等各种损失。

本发明提出了节流阀测试方法，该方法包括：向节流阀输入脉冲信号以控制节流阀旋转预定角度；获得控制所述节流阀旋转预定角度所输入脉冲信号的数目；判断获得的所述数目是否与预定数目相同，以及在不同时，确定该节流阀有故障。

本发明还提出了节流阀测试设备，该设备包括：脉冲输出单元，用于向节流阀输入脉冲信号以控制节流阀旋转预定角度；脉冲计数单元，用于获得脉冲输出单元控制所述节流阀旋转预定角度所输入脉冲信号的数目；提示单元，用于基于脉冲计数单元获得的数目向用户提示测试信息。

本发明提供的测试方案通过向节流阀输入脉冲信号以控制节流阀旋转预定角度，并获得控制所述节流阀旋转预定角度所输入脉冲信号的数目，再判断获得的所述数目是否与预定数目相同，以及在不同时，确定该节流阀有故障，从而实现了在节流阀离线闲置时对节流阀的测试，避免了现有技术中可能采用有故障的节流阀控制半导体制造工艺中的气体流量，也就很可能降低制造出的半导体产品的质量，甚至使得产品制造失败，浪费制造产品所消耗的人力、物力及时间等制造成本的问题。

附图说明

图1为本发明实施例中节流阀测试方法流程图；

图2为本发明实施例提供的节流阀测试设备的结构示意图。

具体实施方式

针对背景技术的问题，本发明实施例提出如果能够在使用节流阀前就能够测试出节流阀是否能够正常工作，则能够防止使用有故障的节流阀控制流量而可能带来各类损失的问题。

图1为本发明实施例中节流阀测试方法流程图，结合该图，该测试方法包括：

步骤1，向节流阀输入脉冲信号以控制节流阀旋转预定角度；

步骤2，获得控制所述节流阀旋转预定角度所输入脉冲信号的数目；

步骤3，判断获得的所述数目是否与预定数目相同，以及在不同时，确定该节流阀有故障。

其中步骤2中获得该数目的方式有多种，例如可以在输入一定数目的脉冲信号后，观测节流阀旋转的角度是否达到预定角度，如果没有，则继续输入脉冲，直到达到预定角度为止，如果达到预定角度，则将输入的脉冲信号的数目作为所需获得的数目；此外由于节流阀在达到预定角度后，可以向输入脉冲信号的输入方反馈停止信号，因此如果利用节流阀的这一特性，则步骤2可以具体包括：

步骤2a，对输入节流阀的脉冲信号计数；

步骤2b，接收节流阀在旋转预定角度时反馈回来的停止信号；

步骤2c，停止向节流阀输入脉冲信号；

步骤2d，将计数得到的脉冲信号数目，确定为所述控制所述节流阀旋转预定角度所输入脉冲信号的数目。

由于节流阀旋转的角度与输入脉冲信号的数目是对应的，因此通过采用脉冲信号控制节流阀旋转预定角度，并获得所输入的脉冲信号的数目，再将该数目与节流阀工作正常情况下所述预定角度对应的脉冲信号数目比较，如果数目相同，则说明节流阀工作正常，否则说明节流阀有故障。