[发明专利]六自由度精密定位平台有效
| 申请号： | 200910046824.1 | 申请日： | 2009-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN101487989A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 马雨雷 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B25H1/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自由度 精密 定位 平台 | ||
1.一种六自由度精密定位平台，其特征在于，包括
基座；
X向长程电机，包括第一定子和第一动子；
Y向长程电机，包括第二定子和第二动子；
其中，所述第一定子与所述第二动子固定连接，所述第二定子通过连接块固定在所述基座上；
微动台，横跨于所述第一动子，包括动平台、三个支撑驱动杆、压电陶瓷驱动器；
其中所述每个支撑驱动杆的一端分别通过一个第一连接机构与所述动平台连接，所述每个支撑驱动杆的另一端分别通过一个第二连接机构与所述压电陶瓷驱动器相连，且所述每个支撑驱动杆至多连接三个所述压电陶瓷驱动器，三个所述支撑驱动杆与所述动平台的三个连接点不在同一直线上；
其中所述三个支撑驱动杆中至少有一个支撑驱动杆连接有三个所述压电陶瓷驱动器，且三个支撑驱动杆所连接的所述压电陶瓷驱动器的总数不小于六个。
2.根据权利要求1所述的六自由度精密定位平台，其特征在于，所述每个第一连接机构包括一个柔性连接机构或者一个万向节机构或者一个球副机构。
3.根据权利要求1所述的六自由度精密定位平台，其特征在于，所述每个第二连接机构包括一个球副机构和一个滑动副机构。
4.根据权利要求1所述的六自由度精密定位平台，其特征在于，所述每个第二连接机构包括一个滑动副机构和一个万向节结构。
5.根据权利要求3或4所述的六自由度精密定位平台，其特征在于，所述三个支撑驱动杆的第二连接机构的滑动副机构不在同一直线上。
6.根据权利要求5所述的六自由度精密定位平台，其特征在于，所述三个支撑驱动杆的第二连接机构的滑动副机构互成120度夹角。
7.根据权利要求1所述的六自由度精密定位平台，其特征在于，所述三个支撑驱动杆分别连接所述压电陶瓷驱动器的个数分别为：3、3、3。
8.根据权利要求1所述的六自由度精密定位平台，其特征在于，所述三个支撑驱动杆分别连接所述压电陶瓷驱动器的个数分别为：3、3、1。
9.根据权利要求1所述的六自由度精密定位平台，其特征在于，所述三个支撑驱动杆分别连接所述压电陶瓷驱动器的个数分别为：3、2、1。
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