[发明专利]一种气氛均匀性控制方法及其装置

权利要求书

1、一种气氛均匀性控制方法，其特征在于它是通过设置多点进气口和多点排气口，通过自动控制开、关各气口的阀门来实现多气口的交替通、断，使工艺气体更均匀地流经炉膛不同部位。

2、根据权利要求1所述的一种气氛均匀性控制方法，其特征在于它的一种实现方式为，多点交替进气，排气不交替。

3、根据权利要求1所述的一种气氛均匀性控制方法，其特征在于它的一种实现方式为，进气不交替，多点交替排气。

4、根据权利要求1所述的一种气氛均匀性控制方法，其特征在于它的一种实现方式为，多点交替进气，多点交替排气。

5、一种实现如权利要求1所述的一种气氛均匀性控制方法的装置，其特征在于，炉壳(1)里面装有保温体(2)，保温体(2)内周边装有发热体(6)，内胆(5)处于正中央，工件区(11)位于内胆(5)里面，进气口(3)、进气口(7)位于内胆(5)的顶面或底面，排气口(9)和排气口(12)位于内胆(5)的另一面，所述的进、排气口上都装有通断控制阀(4)、(8)、(10)、(13)。