[发明专利]一种酸性废蚀刻液的循环再生方法及装置

权利要求书

1、一种酸性废蚀刻液的循环再生方法，其特征在于包括以下循环步骤：

酸性废蚀刻液铜分离及组分调配循环：酸性蚀刻机进行蚀刻后所产生的酸性废蚀刻液在铜萃取-反萃取机构(2)中经铜萃取剂萃取除铜后形成提铜后废蚀刻液，提铜后废蚀刻液在进行组份调配使其达到生产所需要求后，返回酸性蚀刻机(1)循环使用；

铜萃取剂循环：铜萃取剂在所述铜萃取-反萃取机构(2)中萃取铜后形成含铜的铜萃取剂，含铜的铜萃取剂再与反萃取剂充分反应使铜离子释放到反萃取剂中，卸载铜后的铜萃取剂恢复萃取功能，返回萃取-反萃取机构(2)中的萃取工序循环使用；

电解提铜和反萃取剂循环：所述含铜离子的反萃取剂经过电解沉积提铜后恢复反萃取功能，返回铜萃取-反萃取机构(2)中的反萃取工序循环使用，而电解沉积所提取出来的铜为高纯度铜。

2、根据权利要求1所述的酸性废蚀刻液的循环再生方法，其特征在于上述铜萃取剂为只对酸性废蚀刻液中的铜选择性提取的有机铜萃取剂。

3、根据权利要求1所述的酸性废蚀刻液的循环再生方法，其特征在于上述铜萃取剂与酸性废蚀刻液的比例为2∶1～5∶1。

4、根据权利要求1所述的酸性废蚀刻液的循环再生方法，其特征在于上述反萃取剂为硫酸铜和硫酸的混合溶液。

5、根据权利要求1或4所述的酸性废蚀刻液的循环再生方法，其特征在于含铜的铜萃取剂与反萃取剂的比例为2∶1～5∶1。

6、一种酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于包括：通过连接管道与酸性蚀刻机(1)上酸性废蚀刻液出口(11)相连的用于将酸性废蚀刻液中的铜进行萃取和反萃取的铜萃取-反萃取机构(2)、与酸性蚀刻机(1)上蚀刻液入口(12)和所述铜萃取-反萃取机构(2)相连的蚀刻液组份调节机构(6)、与所述铜萃取-反萃取机构(2)相连的电解沉积铜机构(4)。

7、根据权利要求6所述的酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于上述的铜萃取-反萃取机构(2)上设有酸性废蚀刻液入口(21)、铜萃取剂入口(22)、反萃取剂入口(23)及提铜废蚀刻液出口(24)、铜萃取剂出口(25)和含铜反萃取剂出口(26)，所述铜萃取剂出口(25)通过连接管道与铜萃取剂入口(22)相连，所述含铜反萃取剂出口(26)通过上述电解沉积铜机构(4)与反萃取剂入口(23)相连，所述提铜废蚀刻液出口(24)通过连接管道与蚀刻液组分调节机构(6)相接。

8、根据权利要求7所述的酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于上述铜萃取-反萃取机构(2)上的酸性废蚀刻液入口(21)与酸性蚀刻机(1)的酸性废蚀刻液出口(11)之间的连接管道上设有酸性废蚀刻液中转缸(5)和控制阀(51)。

9、根据权利要求7所述的酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于上述铜萃取-反萃取机构(2)上的铜萃取剂出口(25)与铜萃取剂入口(22)之间的连接管道上设有萃取剂中转缸(3)和控制泵(31)或阀门。

10、根据权利要求7或8或9所述的酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于上述铜萃取-反萃取机构(2)上的含铜反萃取剂出口(26)和反萃取剂入口(23)与上述电解沉积铜机构(4)上设置的含铜反萃取剂入口(41)和反萃取剂出口(42)之间的连接管道上分别设有含铜反萃取剂中转缸(8)和反萃取剂中转缸(9)、控制泵(81、91)或阀门。

11、根据权利要求6所述的酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于上述铜萃取-反萃取机构(2)为箱式混合-澄清萃取槽，其中萃取级数为1～8级，反萃取级数为1～3级。

12、根据权利要求6所述的酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于上述电解沉积铜机构(4)为其内设有多个小槽的电解槽4，所述小槽由多个用作阳极的铅板和用作阴极的紫铜片并联组成，各小槽之间串联连接。

13、根据权利要求6所述的酸性废蚀刻液的循环再生装置，其特征在于上述蚀刻液组份调配机构(6)为其内装置有搅拌机(61)的调配缸，且所述调配缸与酸性蚀刻机(1)的连接管道上设有控制阀(62)。