[发明专利]用于生产高纯砷的大型蒸馏炉的金属材料

说明书

技术领域

本发明涉及一种非金属材料的提纯工业化生产技术，特别是半导体基础材料超高纯砷的生产用蒸馏炉的技术。

背景技术

目前高纯砷的生产方法有氯化精馏法、铅熔池升华法和砷化氢裂解法，它们的共同缺陷是生产的生产成本高、批量小，不能适应市场需求。另外，氯化精馏法又存在投产成本高、生产用塔易损坏、产品质量不稳定、生产过程易产生三氯化砷气体泄漏、生产过程存在安全隐患；铅熔池升华法存在质量不能达标；砷化氢裂解法存在砷化氢毒气泄漏的安全隐患。申请号为2006100395410的高纯砷的生产方法不但克服了以上三种方法的缺陷，还综合了铅熔池法和氯化精馏还原法的优点，提出了先形成砷铅合金，再从其中以升华分离的方法提取砷，再将分离出的砷在氢气中升华获得纯度为7N的砷。该方法需要采用石英制作反应用各种用具，但由于石英器具容积量小，易破碎，石英管因在蒸馏过程中易受腐蚀，使用寿命短，成本居高不下，故，2006100395410的高纯砷的生产方法还不能应用于工业化批量生产。

发明内容

本发明目的在于为以上高纯砷的生产方法配套一种耐用性好、使用寿命长、适应大批量生产的用于生产高纯砷的大型蒸馏炉的金属材料。

本发明所述其金属材料具有密度小、耐高低温、塑性好、机械强度大、抗酸碱腐蚀性好的特性。

为了减少生产过程带入二次污染，提高砷的提纯率，本发明必须采用具有密度小、耐高低温、塑性好、机械强度大、抗酸碱腐蚀性好的特性的金属材料制成大型蒸馏炉，在常温下，不会被稀盐酸、稀硫酸、硝酸或稀碱溶液所腐蚀，只有氢氟酸、热的浓盐酸、浓硫酸等才可对它作用。应用该金属材料可大大降低砷提纯的生产成本，采用新材料后的使用寿命大约是石英的10倍多，一般不易损坏。

本发明所述以上金属材料最好为钛。

具体实施方式

一种用于高纯砷的大型蒸馏炉的金属材料，可以为铝或镁或钛，最好是采用钛。