[发明专利]一种真空紫外平板光源

权利要求书

1.一种真空紫外平板光源，其特征在于包括前基板和后基板，前后基板由石英玻璃制成，在前基板与后基板之间设有放电腔体，采用表面放电方式，在前基板上设置成对的平行电极，并位于所述的放电腔体内，在前基板上还设有介质层，所述成对电极位于前基板与介质层之间，在介质层上设有保护膜，放电腔体充入工作气体，所述工作气体由Ne和Xe气的混合气体构成，Xe气的比例高于或等于20％，或者由纯Xe气构成，工作气体的气压为400～700Torr，在成对的平行电极间施加交流脉冲，当幅值超过工作气体的着火电压，工作气体放电，在维持电流脉冲的作用下，持续产生147nm和172nm的真空紫外光，通过石英基板出射到光源外面需要处理的表面上。

2.根据权利要求1所述的真空紫外平板光源，其特征在于上述设置在前基板与后基板之间的放电腔体采用对向式放电方式。

3.根据权利要求1或2所述的真空紫外平板光源，其特征在于在保护膜上设有反射真空紫外光的反射层，后基板采用普通的钠钙玻璃，构成单面出射真空紫外光的平板光源。