[发明专利]彩色光刻胶的清洗剂有效
申请号: | 200910026138.8 | 申请日: | 2009-04-01 |
公开(公告)号: | CN101520612A | 公开(公告)日: | 2009-09-02 |
发明(设计)人: | 顾奇;朱海盛 | 申请(专利权)人: | 苏州瑞晶化学有限公司;苏州苏电微电子信息化学品研发中心有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人: | 陈忠辉 |
地址: | 215128江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 彩色 光刻 洗剂 | ||
技术领域
本发明涉及清洗剂的组成物,尤其涉及一种用于去除在显影和剥离制 程中吸附在管道及设备内壁上彩色光刻胶的清洗剂。
背景技术
彩色滤光片(color filter)由玻璃基板、彩色光刻胶(BM、R、G、B), OC胶、SiO2膜、ITO膜共五层组成。
彩色滤光片(color filter)的制程通常为:首先,在空白玻璃基片上镀 第一层膜,然后上BM,前烘、对准,曝光、显影、后烘、蚀刻,去BM, 然后再镀第二层膜,上彩色光刻胶2,前烘、对准,曝光、显影、后烘、 蚀刻,然后再镀第三层膜,上彩色光刻胶3,前烘、对准,曝光、显影、 后烘、蚀刻,然后再镀第三层膜,上彩色光刻胶4,前烘、对准,曝光、 显影、后烘、蚀刻,最后上OC层、SiO2层、镀ITO层。
其中彩色光刻胶1、2、3、4,就是指R、G、B、BM。彩色光刻胶可 以通过颜料分装法、染色法、电着法等方法制造。彩色光刻胶是由光聚引 发剂、单体、分剂、溶剂、色膏、粘合剂等组成。光聚引发剂在曝光时受 光后产生自由基的高感光性化合物,而单体则通过自由基引发聚合反应 后,结合成高分子形态,从而形成不溶于显影溶剂的形态。粘合剂,在常 温下保护液体状单体使之不溶解于显影液,并决定色膏分散剂的稳定性及 R、G、B、BM的图案的稳定性、耐光性、耐化学性等可靠性。为了进一 步保护R、G、B、BM的图案,通常会彩色光刻胶上OC层,同时达到公 用电极施加电压,上SiO2层、镀ITO层。
还经常会出现不良品,因此需要剥离已经涂上彩色光刻胶及各层,来 达到回收玻璃基板的目的,降低生产成本。
其中在显影和剥离制程中,产生的彩色光刻胶残胶很容易吸附工艺管 道设备的内壁,造成管道的堵塞,影响正常的生产,造成必要的浪费。因 此需要一种清洗剂清洗管道内壁上的彩色光刻胶残胶,保证正常生产。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种用于去除在显影 和剥离制程中吸附在管道及设备内壁上彩色光刻胶的清洗剂。
本发明的目的通过以下技术方案来实现:
彩色光刻胶的清洗剂,其组分具有如下的重量百分比:1~10wt%无机 碱氢氧化物或烷基氢氧化铵或苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物,0.1~10wt% 聚氧乙烯醚,0.01~0.1wt%聚醚多元醇,80~96%纯水。
进一步地,上述的彩色光刻胶的清洗剂,所述聚氧乙烯醚为烷基酚聚 氧乙烯醚、壬基聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基酚聚氧乙烯醚。
更进一步地,上述的彩色光刻胶的清洗剂,所述聚醚多元醇为聚氧化 丙烯二醇、聚四氢呋喃二醇、聚氧四亚甲基二醇、四氢呋喃-氧化丙烯 共聚二醇。
再进一步地,上述的彩色光刻胶的清洗剂,所述纯水采用经离子交换 树脂和RO过滤的纯水。
本发明技术方案突出的实质性特点和显著的进步主要体现在:
本发明采用科学的配方,配制的清洗剂能够安全环保的清洗管道内壁 上的彩色光刻胶残胶,清洗剂清洗过的管道内壁上均很干净、无残胶,保 证正常生产,应用极为方便。
具体实施方式
为了研发对彩色光刻胶清洗剂残胶的清洗方法,使用具有科学组分的 清洗剂组合物,可以容易清洗管道内壁上的彩色光刻胶残胶。
本发明彩色光刻胶的清洗剂配方是:1~10wt%无机碱氢氧化物或烷基 氢氧化铵或苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物,0.1~10wt%聚氧乙烯醚,0.01~ 0.1wt%聚醚多元醇,80~96%纯水。
无机碱氢氧化物或烷基氢氧化铵或苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物含 量控制在1~10wt%,如果含量低于1wt%就无法分解彩色光刻胶,进而无 法达到清洗管道去除残胶的效果,如果高于10wt%,就可能损坏管道,影 响管道的寿命;烷基氢氧化铵包含C1-C4的烷基。
聚氧乙烯醚为烷基酚聚氧乙烯醚、壬基聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯 醚、十二烷基酚聚氧乙烯醚,含量控制在0.1~10wt%,如果含量低于0.1 wt%就无法分解彩色光刻胶残胶,进而造成彩色光刻胶残胶容易吸附在管 道内壁,如果高于10wt%,就可能在使用时产生泡沫较多,不利于安全高 效使用。
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