[发明专利]直热式碳纳米管气体传感器及敏感膜的制备方法

权利要求书

1、一种直热式碳纳米管敏感膜气体传感器，包括碳纳米管复合敏感膜、叉指电极和传感器衬底，传感器衬底上设置叉指电极，叉指电极上设置气体敏感膜，其特征在于，所述的气体敏感膜是碳纳米管复合薄膜(14)，所述的叉指电极是直热式叉指电极(15，16，19)，所述的传感器衬底是传感器绝缘衬底(17)，同边的直热式叉指电极(1～6或7～12)所有指条之间相互串联，形成加热电流回路。

2、根据权利要求1所述的直热式碳纳米管敏感膜气体传感器，其特征在于，直热式叉指电极与气体敏感膜位于传感器绝缘衬底(17)同侧。

3、根据权利要求1所述的直热式碳纳米管敏感膜气体传感器，其特征在于，所述直热式叉指电极(15，16，19)成对出现，作为信号拾取电极，信号拾取时采用并联结构。

4、根据权利要求1所述的直热式碳纳米管敏感膜气体传感器，其特征在于，其直热式叉指电极(15，16，19)材料采用镍、铬、铜或钨及其二元或者多元合金或混合物。

5、根据权利要求2所述直热式碳纳米管敏感膜气体传感器，其特征在于，碳纳米管复合敏感膜采用的是定向的或是无序的碳纳米管。

6、根据权利要求1所述的直热式碳纳米管敏感膜气体传感器，其特征在于，所述的碳纳米管复合敏感膜采用单壁碳纳米管，或多壁碳纳米管，或既有单壁碳纳米管也有多壁碳纳米管。

7、根据权利要求1所述的直热式碳纳米管敏感膜气体传感器，其特征在于，传感器绝缘衬底(17)材料为刚性绝缘材料或是柔性绝缘材料。

8、根据权利要求1所述的直热式碳纳米管敏感膜气体传感器，其特征在于，所述传感器绝缘衬底材料为无机绝缘材料，或非导电聚合物聚四氟乙烯、聚酰亚胺。

9、一种如权利要求1所述的直热式碳纳米管敏感膜气体传感器的碳纳米管复合敏感膜的制备方法，其特征在于，

将2.5g～3g碳纳米管均匀分散于100ml松油醇中，低速磁力搅拌5分钟，再超声震荡5分钟，加入3.5g～5g乙基纤维素和5g二氧化硅纳米粉末，

升温至120℃，低速磁力搅拌5分钟，再超声震荡5分钟；重复该步骤三次完全均匀分散，获得碳纳米管复合浆料，

采用常规微压印工艺，将碳纳米管复合浆料移植在直热式叉指电极上成膜，完成碳纳米管复合敏感膜的制备，室温下晾干，之后在干燥箱内120℃烘烤，去除有部分机物残留，最后在氩气保护下350℃退火，彻底去除有机残留。