[发明专利]一种硅单晶生长的热场有效
| 申请号： | 200910022095.6 | 申请日： | 2009-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101525765A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 李留臣;冯金生;井锦英 | 申请（专利权）人： | 江苏华盛天龙机械股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 | 代理人： | 罗 笛 |
| 地址： | 213200江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅单晶 生长 | ||
1.一种硅单晶生长的热场，包括工作室(9)，工作室(9)侧壁下部设 置有通孔，工作室(9)的顶部设置有进气口，该进气口与外部的气体输送 装置相通，工作室(9)内的底部设置有保温底板(1)，工作室(9)内、保 温底板(1)的上表面固接有圆筒形的外保温筒(4)，外保温筒(4)侧壁的 下部设置有通孔，外保温筒(4)内、保温底板(1)的上表面还设置有圆筒 形的内保温筒(3)，内保温筒(3)的侧壁与外保温筒(4)的侧壁之间留有 间隙(5)，外保温筒(4)侧壁下部的通孔内设置有抽气口(2)，抽气口(2) 的一端与间隙(5)相通，抽气口(2)的另一端从工作室(9)侧壁下部的 通孔中伸出并与外部的抽气装置相通，工作室(9)的底部竖直设置有电极 (12)，电极(12)的上端穿过保温底板(1)伸入内保温筒(3)内并与圆 筒形的加热器(11)固定连接，电极(12)的下端伸出工作室(9)的底部 并与电源相连接，工作室(9)的底部还竖直设置有坩埚杆(15)，坩埚杆(15) 的下端伸出工作室(9)的底部，坩埚杆(15)的上端伸入加热器(11)内 并与坩埚(10)固接，坩埚(10)位于加热器(11)内，外保温筒(4)的 顶面设置有保温板(8)，保温板(8)上开有通孔，其特征在于，
保温板(8)与内保温筒(3)顶面之间设置有空隙(7)，空隙(7)、间 隙(5)和抽气口(2)相通，保温板(8)上固接有中空的倒圆台形的导流 筒(6)，导流筒(6)的下端通过保温板(8)上的通孔伸入坩埚(10)内。
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