[发明专利]一种生长硅单晶的热装置

权利要求书

1.一种生长硅单晶的热装置，其特征在于，包括中空的基座(8)，基座(8)内并排设置有移动机构A(7)和移动机构B(9)，基座(8)上固接有中空的工作室(1)，工作室(1)内设置有固接于工作室(1)底部的保温筒(2)，保温筒(2)的顶部设置有保温筒盖(14)，保温筒(2)内竖直设置有支撑杆(12)，支撑杆(12)的顶部固接有坩埚(3)，移动机构A(7)与竖直设置的电极A(5)的下端固定连接，移动机构A(7)与电极A(5)的连接处设置有绝缘套A(6)，电极A(5)的上端向上穿过基座(8)顶部伸入保温筒(2)内，并与加热器(4)固接，加热器(4)为环形，位于坩埚(3)与保温筒(2)侧壁之间，环绕坩埚(3)设置，移动机构A(7)通过电极A(5)带动加热器(4)上下移动，移动机构B(9)与竖直设置的电极B(11)的下端固定连接，电极B(11)的上端向上穿过基座(8)顶部伸入保温筒(2)内，并与底部加热器(13)固接，底部加热器(13)位于坩埚(3)的下方，移动机构B(9)通过电极B(11)带动底部加热器(13)上下移动。

2.按照权利要求1所述的热装置，其特征在于，所述的底部加热器(13)的顶部为平板形或锥盘形。