[发明专利]一种声表面波谐振式压力传感器无效
| 申请号： | 200910022056.6 | 申请日： | 2009-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101865747A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 何鹏举 | 申请（专利权）人： | 西安高科卫光电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;H03H9/25 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市太白南路18*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种声表面波谐振式压力传感器，包括2个谐振器、频率经混频器、低通滤波器、放大器和叉指换能器，其特征在于：两个谐振器分别连接到放大器的反馈回路中，构成具有一定输出频率的振荡器，两路输出的频率经混频、低通滤波和放大，得到一个与外加压力一一对应的差频输出。
2.根据利用权利要求1所述的一种声表面波谐振式压力传感器，其特征在于：所述的叉指换能器，其特征在于：是一个由热蒸发或溅射工艺制作在压电基片上的交互连接的两端器件。
3.根据利用权利要求2所述的一种声表面波谐振式压力传感器，其特征在于：所述的声表面波压力传感器的压电基片，是在同一圆形石英晶体膜片上制备二个完全相同的声表面波谐振器。
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