[发明专利]一种微电子用材料蠕变性能测试装置无效
| 申请号： | 200910021754.4 | 申请日： | 2009-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101504346A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 许天旱 | 申请（专利权）人： | 西安石油大学 |
| 主分类号： | G01N3/14 | 分类号： | G01N3/14 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘国智 |
| 地址： | 710065陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微电子 用材 料蠕变 性能 测试 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种微电子用材料蠕变性能测试装置，其特征在于，包括有一上支架(2)，上支架(2)上部设置有滑轮(1)，上支架(2)下部用于设置试样(12)，试样(12)下连接有载荷箱(11)，绳(6)的一端连接载荷箱(11)，绳(6)的另一端通过滑轮(1)连接在电池(8)上，电池(8)装在闹钟(10)的电池盒(7)内，闹钟(10)固定在下支架(9)上，闹钟(10)和下支架(9)的位置偏离于载荷箱(11)下落点的位置。
2.根据权利要求1所述的一种微电子用材料蠕变性能测试装置，其特征在于，所述的绳(6)在测试时不受力，处于松弛状态。
3.根据权利要求1所述的一种微电子用材料蠕变性能测试装置，其特征在于，所述的试样(12)由三部分组成，包括上基片(3)、试验钎料(4)和下基片(5)，钎料(4)将上基片(3)和下基片(5)连接在一起，上基片(3)和上支架(2)连接，下基片(5)和载荷箱(11)连接。
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