[发明专利]基于粘附的双稳态加速度感应微开关

权利要求书

1.一种基于粘附的双稳态加速度感应微开关，包括感应质量块(34)、支撑梁(35)和框架(32)，支撑梁的两端固定在框架上，其特征在于框架(32)的上、下面分别固定有上顶盖(31)和下底盖(33)，感应质量块(34)与上顶盖(31)之间的距离h为0.1μm≤h≤1μm，感应质量块(34)的下部沉积有金膜形成动极板(36)，下底盖(33)内侧沉积有金膜形成定极板(38)。

2.根据权利要求1所述的双稳态加速度感应微开关，其特征在于动极板(36)上设有两个触点(37)。

3.根据权利要求2所述的双稳态加速度感应微开关，其特征在于触点(37)采用半球形状结构。

4.根据权利要求1所述的双稳态加速度感应微开关，其特征在于支撑梁(35)采用两端固结直梁结构。

5.根据权利要求1所述的双稳态加速度感应微开关，其特征在于“开”状态时，感应质量块(34)与上顶盖(31)紧贴。

6.根据权利要求1所述的双稳态加速度感应微开关，其特征在于“关”状态时，感应质量块(34)与下底盖(33)紧贴。