[发明专利]曲面样品基底涂层厚度的测量方法及样品装卡工具

权利要求书

1.一种曲面样品基底涂层厚度的测量方法，其特征在于，包括下述步骤：

第一步，将一个专用曲面样品装卡工具的底板连接在平面样品涂层厚度测量装置的样品安装板上，底板上设有带样品装卡块的左右旋转机构，曲面样品安装在样品装卡块的直槽中；

第二步，调节样品安装板的位置及前后倾角，并调节左右旋转机构的左右倾角，使磨削球能够接触到曲面样品被测曲面的一点；

第三步，启动电机，采用与平面样品同样的磨削方法对曲面样品被测曲面点进行磨削，得第一个磨痕；

第四步，重复第二步，第三步的方法，使磨削球能够接触到曲面样品被测曲面与第一点曲率半径相同的另一点；磨削后得第二个磨痕；

第五步，磨削后得到的两个不同磨痕，在显微镜下为两个椭圆磨痕，在膜/基结合处和涂层表面的长轴分别是2r₁₁，2r₂₁和2r₁₂，2r₂₂，则涂层厚度t用下面的公式计算：

式(1)中：

式(1)～式(3)中：

其中R为磨削球的半径。

2.如权利要求1所述的曲面样品基底涂层厚度的测量方法，其特征在于，所述的左右旋转机构包括样品装卡块、与底板连接的装卡块支架，装卡块支架与样品装卡块铰接并用装卡块固定螺钉紧固，通过调节装卡块固定螺钉，样品装卡块以铰链形式使曲面样品左右转动。

3.按权利要求1曲面样品基底涂层厚度的测量方法设计的样品装卡工具，其特征在于，包括底板，该底板在进行曲面样品涂层厚度测量时被安装在平面样品涂层厚度测量装置的样品安装板上，底板上设有带样品装卡块的左右旋转机构，曲面样品安装在样品装卡块的直槽中。

4.如权利要求3所述按权利要求1曲面样品基底涂层厚度的测量方法设计的样品装卡工具，其特征在于，所述的左右旋转机构包括样品装卡块、与底板连接的装卡块支架，装卡块支架与样品装卡块铰接并用装卡块固定螺钉紧固，通过调节装卡块固定螺钉，样品装卡块以铰链形式使曲面样品左右转动。