[发明专利]提纯三氯氢硅和四氯化硅的工艺

权利要求书

1、一种提纯三氯氢硅和四氯化硅的工艺，其包括下列内容：

a、合成液储罐、1#精馏塔、2#精馏塔、3#精馏塔及其各自附属设备通过相应管线顺序连接在一起，储罐及各塔塔内的压力设定为依次降低；三氯氢硅原料液在压差作用下自合成液储罐中首先进入1#精馏塔，塔顶气相采出物经蒸馏、冷凝、回流后，采出高纯三氯氢硅至储罐；

b、1#精馏塔塔底液相采出的溶液在压差作用下进入2#精馏塔，2#塔塔顶气相采出物经蒸馏、冷凝、回流后得到混有少量四氯化硅的三氯氢硅液体，将该液体重回合成液储罐；

c、2#塔液相采出的溶液在压差作用下进入3#精馏塔，塔顶气相采出物经蒸馏、冷凝、回流后，采出高纯四氯化硅至储罐；塔底液相采出至废液储罐或按规定排放。

2、根据权利要求1所述的提纯三氯氢硅和四氯化硅的工艺，其包括下列内容：

a、首先三氯氢硅液体原料在压差作用下自合成液储罐中进入1#精馏塔中部，维持塔中设定的压力和温度；1#精馏塔塔顶气相采出经冷凝后部分回流，部分高纯三氯氢硅进入三氯氢硅储罐；塔底与再沸器连通，通过对精馏塔内的部分液相的加热维持调节塔内的温度稳定；1#精馏塔液相采出为含少量三氯氢硅的四氯化硅溶液；

b、1#精馏塔液相采出的溶液在压差作用下通过管线进入2#精馏塔的中部，维持塔中设定的压力和温度；2#塔塔顶气相采出溶液中剩余的三氯氢硅，并混有少量四氯化硅，经冷凝后部分回流，其余打入合成液储罐，重新进入1#塔进行提纯；塔底与再沸器连通，维持调节塔内的温度；2#塔液相采出为含四氯化硅和高沸硅烷的溶液；

c、2#塔液相采出的溶液在压差作用下通过管线进入3#精馏塔中部，维持塔中设定的压力和温度；3#精馏塔塔顶气相采出溶液中的四氯化硅，经冷凝后部分回流，部分高纯四氯化硅采出至四氯化硅储罐；塔底与再沸器连通，维持调节塔内的温度；塔底液相采出高沸硅烷等高沸物溶液，将该溶液存至废液储罐或按规定排放。

3、根据权利要求2所述的提纯三氯氢硅和四氯化硅的工艺，其特征在于：其合成液储罐压力控制为0.50～0.60MPa，所述1#、2#、3#三座精馏塔内部压力分别为0.30～0.40MPa、0.15～0.25MPa、0.03～0.10MPa。

4、根据权利要求3所述的提纯三氯氢硅和四氯化硅的工艺，其特征在于：其1#、2#、3#精馏塔的塔顶温度分别为60～90℃、50～80℃、60～90℃。

5、根据权利要求4所述的提纯三氯氢硅和四氯化硅的工艺，其特征在于：其1#、2#、3#三座精馏塔所用冷凝器的冷媒均为普通循环水。