[发明专利]一种用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置

权利要求书

1.一种用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置，其特征在于，该装置设有处理腔、旋转与升降机构和盖板，处理腔具有径向设置的外层侧壁和内层侧壁，外层侧壁和内层侧壁形成双层中空结构，内层侧壁是由两层或两层以上收集圈堆积组成，收集圈均为中心开孔的凹形结构，收集圈底部开有排液口，相邻两层收集圈之间开有排气缝，在旋转与升降机构上放置圆形薄片状物体，盖板置于处理腔顶部，采用可移动式结构。

2.按照权利要求1所述的用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置，其特征在于，所述的旋转与升降机构设有旋转盘、中空轴电机、转动轴、固定套管、转轴电机、丝杠和滑块，在处理腔的中央设有旋转盘，圆形薄片状物体放置于旋转盘上，中空轴电机通过转动轴与旋转盘底部连接，固定套管套在转动轴外侧，转轴电机的输出端连接丝杠，丝杠上装有滑块，中空轴电机通过滑块与电机丝杠相连。

3.按照权利要求1所述的用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置，其特征在于，所述的排液口与排液管相连通，外层侧壁上开有排气管，排气管与排气缝通过外层侧壁和内层侧壁形成的双层中空结构连通。

4.按照权利要求3所述的用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置，其特征在于，所述的外层侧壁上开有至少一个排气管。

5.按照权利要求1所述的用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置，其特征在于，所述的收集圈的底部开有至少一个排液口。

6.按照权利要求1所述的用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置，其特征在于，在处理腔内还设有保护套管，保护套管由防酸可伸缩波纹状材料制成，保护套管上、下端分别与固定套管和底层收集圈紧密连接，使处理腔底部形成封闭的结构，整个旋转与升降机构在处理腔内的部分被保护套管所包裹。

7.按照权利要求1所述的用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置，其特征在于，用于移动盖板的夹取机构设有夹持器、滑轨、电机，电机输出端通过连接件与夹持器的一端连接，夹持器的另一端连接滑轨，用于夹持盖板的滑轨为与盖板相对应的结构。

8.按照权利要求7所述的用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置，其特征在于，所述的夹持器内装有控制器，控制器控制滑轨收缩夹取盖板，滑轨舒张放下盖板。

9.按照权利要求1所述的用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置，其特征在于，所述的盖板中心设有可供喷嘴通过的开口。