[发明专利]使用溶胶凝胶法在基片表面制备纳米功能薄膜的装置

权利要求书

1.使用溶胶凝胶法在基片表面制备纳米功能薄膜的装置，其特征在于该装置采用流体力学原理，包括具有固定基片装置的盛装胶体溶液即薄膜前驱液容器(8)、盛装该容器和干燥剂的密封大容器(6)、液体导管(14)、胶体溶液即薄膜高位前驱液瓶(15)、减震基座(2)、支架(19)，多孔圆筒(4)置于容器底部并与大容器(6)同轴，大容器(6)和多孔圆筒(4)的间隙填充硅胶至圆筒高度，在圆筒(4)内设有前驱液容器(8)并与大容器(6)和多孔圆筒(4)同轴；待镀膜基片(3)固定在横梁(20)上，横梁置于前驱液容器(8)的挂块中；胶塞(11)及另一胶塞(13)固定在容器盖上，分别插有温度计和溶液导管；通气孔上放有干燥剂；将组装好的组装容器盖(9)置于大容器(6)上：支架上方设有可移动的横梁，横梁右侧设一卡钳，卡钳卡住高位前驱液瓶(15)。

2.根据权利要求1所述的使用溶胶凝胶法在基片表面制备纳米功能薄膜的装置，其特征在于使用透明聚甲基丙烯酸甲酯作为大容器(6)的材质时容器盖(9)与大容器(6)的连接方式为螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的使用溶胶凝胶法在基片表面制备纳米功能薄膜的装置，其特征在于使用仪器用玻璃作为大容器(6)的材质时容器盖(9)与大容器(6)的连接方式为磨口连接。

4.根据权利要求1所述的使用溶胶凝胶法在基片表面制备纳米功能薄膜的装置，其特征在于薄膜前驱液容器(8)的形状制备成圆形、椭圆形、正方形或矩形。

5.根据权利要求1所述的使用溶胶凝胶法在基片表面制备纳米功能薄膜的装置，其特征在于大容器(6)是由容器主体和容器盖两部分构成的密闭容器，容器盖上设有供溶液导管、温度计和通气用的孔，这些孔通过胶塞密封。

6.根据权利要求1所述的使用溶胶凝胶法在基片表面制备纳米功能薄膜的装置，其特征在于该容器的内壁上部、在相互对称的位置上，有相互平行、固定横梁和衡量用于吊挂镀膜基片的挂块。

7.根据权利要求1所述的使用溶胶凝胶法在基片表面制备纳米功能薄膜的装置，其特征在于大容器(6)与前驱液容器(8)之间设有筛网构成的筒子，该筒子设在大容器(6)的底部，在筒子和大容器(6)之间装有干燥剂。

8.根据权利要求1所述的使用溶胶凝胶法在基片表面制备纳米功能薄膜的装置，其特征在于该挂块位于容器上部，距离容器底部为五分之四容器高度的位置；该挂块根据容器的尺寸大小选择一对或二对。

9.根据权利要求1所述的使用溶胶凝胶法在基片表面制备纳米功能薄膜的装置，其特征在于筛网孔径不大于干燥剂的颗粒径。