[发明专利]薄膜型太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.一种薄膜型太阳能电池，包括：

在基板上形成的前电极；

在所述前电极上形成的半导体层；

在所述半导体层上形成的透明导电层；

在所述透明导电层上方形成的后电极；以及

缓冲层，在所述透明导电层与所述后电极之间形成，用以减小所述后电极的电阻并提高所述透明导电层与所述后电极之间的结合强度，

其中，所述缓冲层由顺序地沉积的金属层和氧化物层组成，其中在相同的烘焙条件下，所述金属层的氧化度高于所述后电极所用材料的氧化度，所述氧化物层由所述金属层的氧化物形成，并且所述氧化物层的电阻小于所述后电极的氧化物的电阻。

2.如权利要求1所述的薄膜型太阳能电池，其中，包括在所述缓冲层中的所述氧化物层和所述透明导电层都是由相同材料形成。

3.如权利要求2所述的薄膜型太阳能电池，其中，包括在所述缓冲层中的所述氧化物层和所述透明导电层都是由氧化锌形成。

4.一种薄膜型太阳能电池的制造方法，包括：

在基板上形成前电极；

在所述前电极上形成半导体层；

在所述半导体层上形成透明导电层；

在所述透明导电层上形成金属层；以及

在所述金属层上形成后电极材料层，然后烘焙所述后电极材料，从而形成所述后电极，

其中，在烘焙期间，使所述金属层的上部氧化，从而在所述金属层上形成所述金属层的氧化物层，所述金属层和所述氧化物层形成缓冲层，

其中，在相同的烘焙条件下，所述金属层的氧化度高于所述后电极所用材料的氧化度，并且所述氧化物层的阻抗小于所述后电极的氧化物的阻抗。

5.如权利要求4所述的方法，其中，用以形成所述后电极的工艺包括用于印刷后电极材料和烘焙所印刷的后电极材料的步骤。

6.如权利要求4所述的方法，其中，包括在所述缓冲层中的所述金属层通过在所述透明导电层上沉积附加层而形成。

7.如权利要求6所述的方法，其中，用以形成包括在所述缓冲层中的所述金属层的工艺包括用于通过在惰性气体气氛下以锌为目标进行溅射工艺而形成锌的步骤。

8.如权利要求7所述的方法，其中，用以形成所述透明导电层的工艺包括用于通过在氧气气氛下以锌为目标进行溅射工艺而形成氧化锌的步骤，

其中所述用以形成所述透明导电层和包括在所述缓冲层中的所述金属层的工艺在同一溅射设备中连续地执行。

9.如权利要求6所述的方法，其中，用以形成包括在所述缓冲层中的所述金属层的工艺包括用于使用包含锌的气态材料在氢气气氛下通过化学气相沉积或原子层沉积形成锌的步骤。

10.如权利要求7所述的方法，其中，用以形成包括在所述缓冲层中的所述金属层的工艺包括用于对所述透明导电层的上部脱氧的步骤。

11.如权利要求10所述的方法，其中，用以对所述透明导电层的上部脱氧的工艺包括用于执行氢等离子体处理以使包含在所述透明导电层的氧与供给氢等离子体处理的氢反应的步骤。