[发明专利]压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置

权利要求书

1.一种制造多个压电振动片的方法，所述多个压电振动片均具有压电板，形成在所述压电板的外表面上以用于当对其施加预定驱动电压时使所述压电板振动的一对激励电极，以及形成在所述压电板的底端侧上并且使用由压电材料制成的晶圆同时分别电连接到所述一对激励电极上的一对安装电极，所述方法包括：

外形形成步骤，其通过利用光刻技术刻蚀所述晶圆而形成构架部并且使多个所述压电板通过连接部以将所述压电板的底端侧引导至所述构架部的状态而以悬臂形状形成到所述构架部上，

电极形成步骤，其通过将电极膜图案化到所述晶圆上而分别将成对的激励电极和成对的安装电极形成到多个所述压电板上并且形成通过所述构架部上的连接部而在一侧分别电连接到多个所述安装电极上的公共电极；

频率调节步骤，其通过在所述公共电极和另一侧上的所述安装电极之间施加驱动电压来调节所述压电板的频率同时使所述压电板振动；和

切割步骤，其通过切割所述连接部来使多个所述压电板形成片段。

2.根据权利要求1所述的制造压电振动片的方法，其特征在于，在所述频率调节步骤中，通过在所述公共电极和另一侧上的所述安装电极之间施加驱动电压来调节所述压电板的频率，同时使多个所述压电板同时振动。

3.一种通过从经由连接部以悬臂形状连接到晶圆的状态来切割所述连接部而制造压电振动片的方法，所述压电振动片包括：

压电板，其底端侧连接至所述连接部；

一对激励电极，其形成在所述压电板的外表面上，用于当对其施加预定驱动电压时使所述压电板振动；以及

一对安装电极，其形成在所述压电板的底端侧上并且分别电连接至所述一对激励电极；

其中，位于所述一对安装电极的一侧上的安装电极形成为接触到所述压电板的底端侧的缘边端，并且在被切割前的某时间点延伸到所述连接部。

4.一种晶圆，其上连接了多个压电振动片，所述多个压电振动片均具有压电板，一对激励电极和一对安装电极，所述一对激励电极形成在所述压电板的外表面上，用于当对其施加预定驱动电压时使所述压电板振动，所述一对安装电极形成在所述压电板的底端侧上并且分别电连接到所述一对激励电极上，所述晶圆包括：

构架部，其经由连接部以引导所述底端侧的状态而以悬臂形状与所述压电振动片的压电板相连接；

公共电极，其形成为经由所述连接部在一侧分别电连接至所述多个压电振动片的安装电极上。

5.一种压电振动器，包括根据权利要求3所述的压电振动板。

6.一种振荡器，包括作为振荡片而电连接到集成电路上的根据权利要求5所述的压电振动器。

7.一种电子装置，包括电连接到计时部分上的根据权利要求5所述的压电振动器。

8.一种无线电波时计，包括电连接到滤波部分上的根据权利要求5所述的压电振动器。