[发明专利]旋涂装置

权利要求书

1.一种旋涂装置，其特征在于，包括：旋转台，其保持盘基板；旋转机构，其使该旋转台旋转；涂料器罩，其配置成将所述旋转台包围并挡住从被保持在所述旋转台上的盘基板甩掉的液体；内杯，其挡住并保持沿着所述涂料器罩滴落的液体；涂料器杯，其支承该内杯，

其中，所述内杯能够从所述涂料器杯上卸下，

该旋涂装置还包括将液体向所述盘基板供给的液体供给机构，在所述涂料器罩上形成至少一个空中注射用孔，在所述液体供给机构为了防止液体的堵塞而将液体空中注射时，该空中注射用孔用于使该被空中注射的液体流向所述内杯内。

2.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，在所述涂料器罩的底面环绕所述涂料器罩的整个圆周形成有经过所述空中注射用孔的出口的外周侧延伸的环状槽。

3.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述涂料器罩具有朝向所述内杯并向下方突出的环状裙部，所述空中注射用孔的下端的出口在所述裙部的外侧开口。

4.如权利要求3所述的旋涂装置，其特征在于，在所述裙部的外周面形成有与所述空中注射用孔的所述出口相连的上下方向延伸的槽。