[发明专利]多安瓿输送系统

权利要求书

1.一种集成的蒸气相反应剂分配设备，包括：

多个容器，每个容器包括构造成形成内部容器隔室的顶壁构件、 侧壁构件和底壁构件，以便保持源化学品高达填充高度，并且另外限 定填充高度以上的内部气体容积；顶壁构件的一部分具有载体气体供 应入口开口，载体气体可经由其中供应到填充高度以上的所述内部气 体容积，以便造成所述源化学品的蒸气变得携带在所述载体气体内， 从而产生蒸气相反应剂；以及顶壁构件的一部分具有蒸气相反应剂出 口开口，所述蒸气相反应剂可经由其中从所述容器分配；

多个载体气体供应/蒸气相反应剂输送歧管，每个所述载体气体供 应/蒸气相反应剂输送歧管互连；每个容器连接到至少一个载体气体 供应/蒸气相反应剂输送歧管；每个载体气体供应/蒸气相反应剂输送 歧管包括载体气体供应管线和蒸气相反应剂排放管线；所述载体气体 供应管线从载体气体供应入口开口向上并从顶壁构件外部延伸，以便 将载体气体输送到填充高度以上的所述内部气体容积，载体气体供应 管线其中包括一个或多个载体气体流动控制阀，以便控制载体气体在 其中的流动；并且所述蒸气相反应剂排放管线从蒸气相反应剂出口开 口向上并从顶壁构件外部延伸，以便从填充高度以上的所述内部气体 容积去除蒸气相反应剂，蒸气相反应剂排放管线其中任选地包括一个 或多个蒸气相反应剂流动控制阀，以便控制蒸气相反应剂在其中的流 动；以及

一个或多个控制器，用于与每个所述载体气体供应/蒸气相反应剂 输送歧管和每个所述容器连通，其方式是每个所述载体气体供应/蒸 气相反应剂输送歧管可相互独立操作，并且每个所述容器可相互独立 操作。

2.一种集成的蒸气相反应剂分配设备，包括：

多个容器，每个容器包括构造成形成内部容器隔室的顶壁构件、 侧壁构件和底壁构件，以便保持源化学品高达填充高度，并且另外限 定填充高度以上的内部气体容积；顶壁构件的一部分具有载体气体供 应入口开口，该入口开口包括发泡器管，发泡器管延伸穿过内部气体 容积进入源化学品，并且所述载体气体可在源化学品内发泡以造成源 化学品蒸气的至少一部分变得携带在所述载体气体内，从而形成去往 填充高度以上的所述内部气体容积的蒸气相反应剂流，所述发泡器管 具有靠近顶壁构件的入口端以及靠近底壁构件的出口端；以及顶壁构 件的一部分具有所述蒸气相反应剂可经由其中从所述容器分配的蒸 气相反应剂出口开口；以及

多个载体气体供应/蒸气相反应剂输送歧管，每个所述载体气体供 应/蒸气相反应剂输送歧管互连；每个容器连接到至少一个载体气体 供应/蒸气相反应剂输送歧管；每个载体气体供应/蒸气相反应剂输送 歧管包括载体气体供应管线和蒸气相反应剂排放管线；所述载体气体 供应管线从载体气体供应入口开口向上并从顶壁构件外部延伸，以便 将载体气体输送到所述填充高度以上的内部气体容积，载体气体供应 管线其中包括一个或多个载体气体流动控制阀，以便控制载体气体在 其中的流动；并且所述蒸气相反应剂排放管线从蒸气相反应剂出口开 口向上并从顶壁构件外部延伸，以便从填充高度以上的所述内部气体 容积去除蒸气相反应剂，蒸气相反应剂排放管线其中任选地包括一个 或多个蒸气相反应剂流动控制阀，以便控制蒸气相反应剂在其中的流 动；以及

一个或多个控制器，用于与每个所述载体气体供应/蒸气相反应剂 输送歧管和每个所述容器连通，其方式是每个所述载体气体供应/蒸 气相反应剂输送歧管可相互独立操作，并且每个所述容器可相互独立 操作。

3.如权利要求1和2所述的集成的蒸气相反应剂分配设备，其特 征在于，还包括多个源气体歧管；每个所述源气体歧管互连；每个源 气体歧管连接到至少一个载体气体供应/蒸气相反应剂输送歧管；每 个源气体歧管包括与所述载体气体供应/蒸气相反应剂输送歧管的所 述载体气体供应管线连续的载体气体供应管线；载体气体供应管线其 中包括一个或多个载体气体流动控制阀，以便控制载体气体在其中的 流动，以及用于监测和控制源气体歧管的压力的压力传感器。