[发明专利]接触式计测装置

权利要求书

1.一种接触式计测装置，其在探针的接触头与计测对象的面已接触的状 态下，利用该探针的位移进行计测，其特征在于，具有：

用流体轴承支撑上述探针的探针主体，

控制上述探针主体内的流体压力的流体压力控制机构，

安装在上述探针主体上的距离调整机构；

上述探针利用上述流体轴承滑动自如地移动，其移动方向沿探针的轴向，

上述距离调整机构为测微计，该测微计安装在上述探针主体上，以使测微 计的可动部的位移方向与上述探针的移动方向为同一方向，

在上述距离调整机构的可动部上安装有永久磁铁，另一方面，在上述探针 的与接触头相反一侧的端部安装有在与上述永久磁铁之间产生斥力或吸力的 部件，

通过利用上述测微计的可动部的位移调整来调整安装在上述可动部上的 永久磁铁和安装在上述探针上的上述部件的距离，从而进行上述永久磁铁对上 述探针的拉力或推压力的微调整，

通过上述流体压力作用于上述部件上，对上述探针施加推压力或拉力。

2.如权利要求1所述的接触式计测装置，其特征在于，安装在上述探针 上的上述部件是磁性体的板状部件或组装了永久磁铁的板状部件。

3.一种接触式计测装置，其在探针的接触头与计测对象的面已接触的状 态下，利用该探针的位移进行计测，其特征在于，具有：

用流体轴承支撑上述探针的探针主体，

控制上述探针主体内的流体压力的流体压力控制机构，

安装在上述探针主体上的距离调整机构；

上述探针利用上述流体轴承滑动自如地移动，其移动方向沿探针的轴向，

上述距离调整机构为测微计，该测微计安装在上述探针主体上，以使测微 计的可动部的位移方向与上述探针的移动方向为同一方向，

在上述探针的与接触头相反一侧的端部安装有永久磁铁，另一方面，在上 述距离调整机构的可动部上安装有在与上述永久磁铁之间产生斥力或吸力的 部件，

通过利用上述测微计的可动部的位移调整来调整安装在上述可动部上的 上述部件和安装在上述探针上的上述永磁铁的距离，从而进行上述永久磁铁对 上述探针的拉力或推压力的微调整，

通过上述流体压力作用于上述永久磁铁上，对上述探针施加推压力或拉 力。

4.如权利要求1或3所述的接触式计测装置，其特征在于，上述流体压 力控制机构具有：

调整向上述探针主体内供给的流体压力的压力调整机构或调整上述探针 主体内的真空度的真空度调整机构；以及

利用阀对向上述探针主体内流入或流出的流体进行微调的压力微调机构。

5.如权利要求4所述的接触式计测装置，其特征在于，将安装在上述探 针上的部件做成磁性体的板状部件或组装了永久磁铁的板状部件；并且，

上述压力调整机构做成通过利用调节器的压力调整来调整向上述板状部 件存在的空间供给的流体压力。

6.如权利要求4所述的接触式计测装置，其特征在于，将安装在上述探 针上的部件做成磁性体的板状部件或组装了永久磁铁的板状部件；并且，

上述真空度调整机构做成利用真空泵来进行上述板状部件存在的空间的 真空度的调整。

7.如权利要求4所述的接触式计测装置，其特征在于，上述压力微调机 构做成通过利用排气阀开闭状态进行的排气量的调整来对由上述调节器调整 的流体压力进行微调，或者通过利用吸气阀开闭状态进行的吸气量的调整来对 由真空泵达到的真空度进行微调。

8.如权利要求4所述的接触式计测装置，其特征在于，通过利用上述压 力调整机构和上述压力微调机构或上述真空度调整机构和上述压力微调机构 来调整对探针的推压力或拉力，以及利用上述距离调整机构来调整拉力或推压 力这两种调整的组合来进行上述探针的接触头对计测对象面的接触力的调整。

9.如权利要求1或3所述的接触式计测装置，其特征在于，在上述探针 的自重影响探针对计测对象的面的接触力的情况下，利用与自重的方向成为相 反方向的上述推压力或上述拉力来抵消探针的自重。