[发明专利]部件安装设备、振动控制设备以及振动控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于将部件安装在基板及类似物上的部件安装设备，以及振动控制设备及其振动控制方法。 

背景技术

过去，用于将电子部件安装在基板上的安装设备包括用于保持电子部件的水平移动头。该移动头连接有例如在真空下吸附电子部件的喷嘴。喷嘴的垂直移动可使喷嘴接近基板并且在那里分离，从而将电子部件安装在基板上(例如，见日本专利申请提前公开No.2005-150638([0032]段，图1至3))。 

在日本专利申请提前公开No.2005-150638([0032]段，图1至3)中描述的安装设备中，由梁(15)、头安装梁(16)等构成的并且可移动地支撑头(17)的框架由于头(17)的移动而振动。如果框架在头(17)将电子部件安装在基板(19)上时仍然振动，则相对于基板的安装位置精度下降。对此，已经制作了例如设计高刚度框架或者尽可能多地降低头(17)的移动速度的装置，以便不造成框架的振动。然而，在头(17)的移动速度低时，难以提高安装设备的产量。 

另外，还揭示有包括被独立驱动的两个头的安装设备(例如，见日本专利No.3494153([0033]段，图1至4))。 

发明内容

然而，当通过使一个头移动而另一个头将电子部件安装在基板上的两个头被单独驱动时，框架产生振动。因此，为了解决这样的问题，例如，提供了这样的系统，其通过检测支撑框架的基座部(2)等的振动并且给予基座部(2)与该振动方向相反的振动来控制振动(主动控制)。 

然而，在此设置的情况下，因为头移动时框架振动，所以不能完全去除头的振动。

考虑到上述情况，需要甚至在诸如框架的结构振动时仍能高精度地定位 诸如头的移动体的部件安装设备，以及振动控制设备及其振动控制方法。 

根据本发明的实施例，提供将部件安装在基板上的部件安装设备，包括：驱动单元、框架结构、第一输出装置和补偿装置。驱动单元包括保持部件的头和移动该头的驱动机构。框架结构装备有驱动单元。第一输出装置检测框架结构的振动，并且输出第一位移信息，该第一位移信息为由检测到的振动引起的框架结构的位移信息。补偿装置根据第一位移信息补偿通过驱动机构移动的头的位置。 

在本发明的实施例中，甚至在框架结构振动时，头的位置也根据框架结构的振动引起的位移信息来补偿。因此，保证了头的绝对移动位置，并且可以使得头相对于基板高精度地定位。 

部件安装设备还包括基座部和第二输出装置。基座部支撑框架结构。第二输出装置检测基座部的振动，并且输出第二位移信息，该第二位移信息为检测到的振动引起的基座部的位移信息。此外，补偿装置根据第一位移信息和第二位移信息补偿通过驱动机构移动的头的位置。根据本发明的实施例，甚至在基座部振动时，也能保证头的绝对移动位置。 

例如，补偿装置使驱动机构驱动，从而头的位移信息以第一位移信息的量来抵消。作为选择，补偿装置使驱动机构驱动，从而头的位置信息以第一位移信息和第二位移信息的量来抵消。 

提供多个包括在驱动单元中的头，驱动机构独立地移动该多个头的每一个，并且补偿装置根据第一位移信息补偿通过驱动机构移动的多个头的每一个的位置。因为如上所述提供多个头，所以甚至在第二头移动并且引起框架本体振动而第一头将部件安装在基板上时，也能保证头的绝对移动位置。 

第一输出装置包括加速度传感器、发生装置、判定装置和重置装置。加速度传感器检测框架结构振动的加速度。发生装置通过对加速度值进行积分来产生第一位移信息。判定装置判定加速度传感器检测的加速度值是否等于或者小于阈值。重置装置在加速度值等于或者小于阈值时将第一位移信息重置为0。因此，在通过对检测的加速度值进行积分而产生第一位移信息时，可以抑制积分时累积错误的发生。 

根据本发明的实施例，提供振动控制设备，用于控制由框架结构的振动引起的移动体的振动，该框架结构支撑该移动体和使该移动体移动的驱动机构，该振动控制设备包括输出装置和补偿装置。输出装置检测框架结构的振 动，并且输出检测的振动引起的框架结构的位移信息。补偿装置根据框架结构的位移信息补偿通过驱动机构移动的移动体的位置。 

根据本发明的实施例，提供振动控制方法，包括：检测框架结构的振动，该框架结构支撑该移动体和使该移动体移动的驱动机构；输出由检测的振动引起的框架结构的位移信息；以及根据框架结构的位移信息补偿通过驱动机构移动的移动体的位置。