[发明专利]电光器件

权利要求书

1.一种电光器件，包括具有波导材料的波导结构，所述波导结构限定光束路径(2)，所述电光器件的特征在于，所述波导结构包括过渡金属氧化物和电极(5.1，5.2)，所述过渡金属氧化物具有氧空位(7)，当暴露到电场时所述氧空位(7)能够迁移，所述电极(5.1，5.2)用于向包括所述具有氧空位的过渡金属氧化物的区域施加电场，其中所述过渡金属氧化物和所述电极被设置为在施加的电场下使所述氧空位沿这样的方向迁移，所述方向具有相对于所述光束路径的中心的径向分量。

2.根据权利要求1的电光器件，包括衬底(5.2，13)，其中所述波导结构包括在所述衬底的表面上的横向结构层的叠层。

3.根据权利要求2的电光器件，其中所述第一和第二电极沿基本上垂直于所述衬底的所述表面的方向彼此间隔。

4.根据上述权利要求中的任何一项的电光器件，其中所述波导结构包括波导芯(4)，所述波导芯(4)包括所述过渡金属氧化物，所述波导结构还包括至少部分地嵌入所述波导芯的覆层(11，12，5.1)，其中所述覆层是所述氧空位无法穿透的。

5.根据权利要求1-3中的任何一项的电光器件，其中所述波导结构包括波导芯(3)和至少部分地嵌入所述波导芯的覆层(8)，其中所述覆层包括所述过渡金属氧化物，其中所述波导芯是所述氧空位无法穿透的。

6.根据权利要求1-3中的任何一项的电光器件，其中所述波导结构包括波导芯(3)和至少部分地嵌入所述波导芯的覆层(8)，其中所述波导芯和所述覆层包括具有氧空位(7)的过渡金属氧化物，所述氧空位(7)在电场的作用下能够迁移，其中所述波导芯与所述覆层之间的界面是所述氧空位可以穿透的。

7.根据权利要求1-3中的任何一项的电光器件，其中所述过渡金属氧化物呈现出至少10^-9cm²/Vs的氧空位迁移率。

8.根据权利要求1-3中的任何一项的电光器件，其中所述电极(5.1，5.2)中的至少一个是透明的并且是所述覆层的一部分。

9.根据权利要求1-3中的任何一项的电光器件，其中所述光束路径使得依赖于所述氧空位的切换状态，所述结构谐振或不谐振。

10.一种光开关，包括根据权利要求1-9中的任何一项的电光器件。

11.一种滤光器，包括根据权利要求1-9中的任何一项的电光器件。

12.一种辐射产生器件，包括根据权利要求1-9中的任何一项的电光器件。

13.根据权利要求12的辐射产生器件，其中所述辐射产生器件是激光器、放大器或超级发光二极管。

14.一种调谐器件，包括根据权利要求1-9中的任何一项的电光器件。

15.一种稳定元件，包括根据权利要求1-9中的任何一项的电光器件。