[发明专利]包含功能构造体的功能器件及其制造方法

权利要求书

1.一种功能器件，具备基板、形成于该基板上的功能构造体、配置 有该功能构造体的空洞部、和被覆该空洞部的被覆部，所述功能器件的 特征在于，

所述被覆部具有包括肋状部或槽状部的凹凸构造，其中，所述肋状 部或槽状部横穿覆盖所述空洞部的被覆范围，且超过所述被覆范围而延 伸到其两侧，所述凹凸构造延伸到被覆范围即空洞部区域的外侧。

2.根据权利要求1所述的功能器件，其特征在于，所述凹凸构造包 括相互并行的多个所述肋状部或槽状部。

3.根据权利要求2所述的功能器件，其特征在于，所述凹凸构造至 少在所述被覆范围内形成为波纹板状。

4.根据权利要求1所述的功能器件，其特征在于，在所述被覆部的 面对所述空洞部的内表面上形成有所述肋状部。

5.根据权利要求1所述的功能器件，其特征在于，所述被覆部具有 形成于所述空洞部侧且具有面对所述空洞部的开孔的第1被覆层、和封 闭该第1被覆层的所述开孔的第2被覆层，在所述第1被覆层上设有所 述凹凸构造。

6.根据权利要求5所述的功能器件，其特征在于，在所述被覆部分 散配置有多个所述开孔，所述肋状部或槽状部在所述开孔之间直线延伸。

7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的功能器件，其特征在于， 所述空洞部被减压密封。

8.根据权利要求1～3中的任意一项所述的功能器件，其特征在于，

所述功能构造体在所述被覆部一侧具有伴随其功能而动作的可动 部，

所述被覆部的面对所述空洞部的内表面中与所述可动部平面重合的 范围，成为不具有由所述肋状部或所述槽状部构成的倾斜和台阶的平坦 面区域，所述被覆部包括金属层，所述可动部构成为与下部电极平面重 合，借助与所述下部电极之间的静电力进行振动。

9.根据权利要求4所述的功能器件，其特征在于，

所述功能构造体在所述被覆部一侧具有伴随其功能而动作的可动 部，

在所述被覆部的面对所述空洞部的内表面上，避开与所述可动部平 面重合的范围而形成所述肋状部。

10.根据权利要求1～4中的任意一项所述的功能器件，其特征在于，

所述功能构造体在所述被覆部一侧具有伴随其功能而动作的可动 部，

所述凹凸构造构成为使所述肋状部或所述槽状部横穿与所述可动部 平面重合的范围。

11.根据权利要求5所述的功能器件，其特征在于，所述开孔在所述 第1被覆层中避开由所述肋状部或所述槽状部构成的凹凸区域，形成于 所述第1被覆层的平坦区域。

12.根据权利要求5、6或11所述的功能器件，其特征在于，

所述功能构造体在所述被覆部一侧具有伴随其功能而动作的可动 部，

所述开孔避开与所述可动部平面重合的范围而形成。

13.一种功能器件的制造方法，该功能器件具备基板、形成于该基 板上的功能构造体、配置有该功能构造体的空洞部、和被覆该空洞部的 被覆部，所述制造方法的特征在于，包括：

构造体形成步骤，与牺牲层一起形成所述功能构造体；

绝缘膜形成步骤，在所述功能构造体上形成绝缘膜，该绝缘膜在至 少一部分表面区域具有包括槽状部或肋状部的凹凸形状；

第1被覆层形成步骤，在所述表面区域上形成第1被覆层，该第1 被覆层具有体现所述凹凸形状而包括肋状部或槽状部的凹凸构造，并且 具有开孔，所述肋状部或槽状部横穿覆盖所述空洞部的被覆范围，且超 过所述被覆范围而延伸到其两侧，所述凹凸构造延伸到被覆范围即空洞 部区域的外侧；

分离步骤，通过所述第1被覆层的所述开孔，去除所述功能构造体 上的所述绝缘膜和所述牺牲层；和

被覆步骤，形成封闭所述第1被覆层的所述开孔的第2被覆层。