[发明专利]用于集成电路的封环结构有效
申请号: | 200910000930.6 | 申请日: | 2009-01-22 |
公开(公告)号: | CN101593745A | 公开(公告)日: | 2009-12-02 |
发明(设计)人: | 李东兴;张添昌;钟元鸿 | 申请(专利权)人: | 联发科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/552 | 分类号: | H01L23/552 |
代理公司: | 北京万慧达知识产权代理有限公司 | 代理人: | 葛 强;张一军 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 集成电路 结构 | ||
1.一种用于集成电路的封环结构,其特征在于,所述用于集成电 路的封环结构包含:
封环,沿所述集成电路的周边排列,其中所述封环至少包含第一 部分和第二部分,以及其中所述第二部分位于模拟和/或射频电路块的 外侧,且所述第二部分屏蔽所述模拟和/或射频电路块免受噪声影响; 以及
深N阱,形成于P型衬底中,且所述深N阱位于所述第二部分的 底部。
2.如权利要求1所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 所述封环是不连续的,所述第二部分与所述第一部分相间隔。
3.如权利要求1所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 还包含连续的外部封环,所述外部封环位于所述封环的外侧。
4.如权利要求1所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 所述第二部分的长度等于或大于已屏蔽的所述模拟和/或射频电路块 的跨距。
5.如权利要求1所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 所述第一部分包含第一P+区域,所述第一P+区域位于所述P型衬底中。
6.如权利要求1所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 所述第二部分包含第二P+区域,所述第二P+区域位于所述深N阱中。
7.如权利要求6所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 还包含P阱,所述P阱位于所述第二P+区域与所述深N阱之间。
8.如权利要求6所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 所述第二部分更包含第一N阱与第二N阱,所述第一N阱通过第一浅 沟槽隔离结构与所述第二P+区域电性隔离,所述第二N阱通过第二浅 沟槽隔离结构与所述第二P+区域电性隔离。
9.如权利要求8所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 所述第一N阱与所述第二N阱具有11000-15000埃的连接深度,以及 所述深N阱具有19000-21000埃的连接深度。
10.如权利要求8所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 所述第一N阱以及所述第二N阱耦接于所述深N阱。
11.如权利要求1所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 所述第二部分包含N+区域,所述N+区域位于所述深N阱中。
12.如权利要求1所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 所述深N阱接地或耦接于供应电压。
13.如权利要求1所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 所述第二部分包含导电壁垒,所述导电壁垒为一堆叠,所述堆叠包含 金属层、接触/通过层或所述金属层与所述接触/通过层的结合,且所述 导电壁垒伴随所述集成电路组件的制造而形成。
14.一种用于集成电路的封环结构,其特征在于,所述用于集成电 路的封环结构包含:
封环,沿所述集成电路的周边排列,其特征在于,所述封环至少 包含第一部分和第二部分;
第一深N阱,形成于P型衬底中,且所述第一深N阱位于所述第 一部分的底部;以及
第二深N阱,形成于P型衬底中,且所述第二深N阱位于所述第 二部分的底部。
15.如权利要求14所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 所述封环是不连续的,所述第二部分与所述第一部分相间隔。
16.如权利要求14所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 还包含连续的外部封环,所述外部封环位于所述封环的外侧。
17.如权利要求14所述的用于集成电路的封环结构,其特征在于, 所述第二部分的长度等于或大于已屏蔽的所述模拟和/或射频电路块 的跨距。
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