[发明专利]使用电磁辐射来去除压电材料

权利要求书

1. 一种用于从其它材料去除压电材料的方法，包括： 

使电磁辐射传播透过压电材料；以及 

在将压电材料结合到其它材料的至少粘合剂中吸收电磁辐射； 

其中，在至少所述粘合剂中吸收电磁辐射烧蚀所述粘合剂，且所述粘合剂的烧蚀起到去除压电材料的作用。

2. 权利要求1的方法，还包括在被插入到粘合剂与另一层之间的导电层中吸收电磁辐射，其中，在导电层中吸收电磁辐射烧蚀导电层。

3. 权利要求2的方法，还包括在被施加于压电材料以及被插入到压电材料与粘合剂之间的导电涂层中吸收电磁辐射，其中，在导电涂层中吸收电磁辐射烧蚀导电涂层。

4. 一种在材料层上形成压电致动器的方法，包括： 

形成覆盖所述材料层的导电层； 

使用粘合剂将压电材料层结合到所述导电层； 

使用机械切割工具在所述压电材料层中形成至少一个槽，所述至少一个槽在所述至少一个槽的两侧形成分别对应于第一和第二压电致动器的压电材料层的第一和第二部分，其中，所述至少一个槽在压电材料层内终止，从而使得所述至少一个槽内的压电材料层的第三部分在第一和第二压电致动器之间延伸； 

将电磁辐射指引到所述至少一个槽中； 

使电磁辐射传播透过压电材料层的第三部分；以及 

在将压电材料层结合到材料层的至少所述粘合剂中吸收电磁辐射； 

其中，在至少所述粘合剂中吸收电磁辐射烧蚀粘合剂，且粘合剂的烧蚀起到从所述至少一个槽去除压电材料层的第三部分的至少一部分的作用。

5. 权利要求4的方法，还包括在导电层中吸收电磁辐射，其中，在导电层中吸收电磁辐射烧蚀导电层。

6. 权利要求5的方法，其中，粘合剂和导电层的烧蚀基本上同时地发生，并且其中，粘合剂和导电层的基本上同时的烧蚀起到从所述至少一个槽去除压电材料层的第三部分的至少所述部分的作用。

7. 一种流体喷射装置，包括： 

衬底，其具有在其中形成的多个流体输送通道； 

泵层，其覆盖所述衬底；以及 

多个压电致动器，其覆盖所述泵层，所述多个压电致动器中的压电致动器一个一个地与所述多个流体输送通道中的流体输送通道对准； 

其中，在相邻压电致动器之间形成槽，每个槽使泵层的上表面的一部分暴露。

8. 权利要求7的流体喷射装置，其中，每个槽没有跨越该槽将相邻压电致动器机械地和电气地耦合的任何压电材料。

9. 权利要求7的流体喷射装置，其中，所述泵层是电介质层或玻璃层。

10. 权利要求7的流体喷射装置，其中，导电层被插入到所述泵层与所述多个压电致动器之间。

11. 权利要求10的流体喷射装置，其中，每个压电致动器被电耦合到导电层。

12. 权利要求10的流体喷射装置，还包括覆盖每个压电致动器的相应的一个的上表面的第一导体和被插入到每个压电致动器的相应的一个的下表面与所述导电层之间的第二导体，其中，粘合剂将第二导体结合到导电层，并且其中，所述第二导体被电耦合到所述导电层。

13. 权利要求12的流体喷射装置，还包括具有被电耦合到导电层的第一和第二导体从而使得第一和第二导体被电短路的压电电极，其中，在所述压电电极与所述压电致动器之一之间形成另一槽。

14. 权利要求13的流体喷射装置，其中，所述另一槽使所述泵层的上表面的另一部分暴露。

15. 权利要求7的流体喷射装置，其中，所述流体喷射装置是打印头且所述流体输送通道是墨输送通道。