[发明专利]用相干光学干涉测量装置校准激光设备的脉冲能量的方法

权利要求书

1.一种对提供脉冲工作激光辐射的激光设备的脉冲能量进行校准的方法，其中，借助于所述工作激光辐射，对一个以上测试对象分别以不同的脉冲能量实施多次测试切削，特别是多脉冲测试切削，对每次测试切削的切削深度进行测量，然后，基于所测得的切削深度和指定的设定点切削深度，确定相关联的设定点脉冲能量并在所述激光设备上设定该设定点脉冲能量，

其特征在于，借助于相干光学干涉测量设备对所述切削深度进行测量。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测量设备基于OLCR原理进行工作。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，借助于所述测量设备的沿所述工作激光辐射行进的测量束来测量所述切削深度。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，对同一测试对象实施多次测试切削，在连续的测试切削之间，相对于所述测量设备移动所述测试对象。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在距用作所述测试对象的测试圆盘的圆盘中心具有半径距离的位置处施加测试切削，并且在连续的测试切削之间，将所述测试圆盘转动指定的旋转角度。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，以确定的设定点脉冲能量对测试对象，特别是被执行了至少一次测试切削的测试对象实施控制切削，然后利用所述测量设备对所述控制切削的切削深度进行测量

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，生成气流并将其至少引导至测试对像的被切削部分上。

8.激光设备，特别是用于实施根据前述权利要求之一所述的方法的激光设备，包括：

激光辐射源(110)，提供用以对对象进行处理的脉冲工作激光辐射；

相干光学干涉测量设备(130)，用于利用沿所述工作激光辐射的方向行进的测量束测量至少一个长度测量值，

可控定位模块(170)，用于将由至少一个测试对象(180)形成的测试对象装置定位在相对于所述激光辐射源(110)的多个限定位置中，

计算机，控制所述激光辐射源(110)、所述测量设备(130)和所述定位模块(170)，所述计算机被设计为在控制程序(200)的控制之下实施下列动作以校准所述激光辐射源(110)：

借助于所述工作激光辐射，在各种情况下以不同的脉冲能量对所述测试对象装置实施多次测试切削，特别是多脉冲测试切削，

控制所述定位模块以在连续的测试切削之间移动所述测试对象装置到各个限定的相对于所述激光辐射源的位置，

借助于所述测量设备(130)对每次测试切削的切削深度进行测量，

基于所测得的切削深度和指定的设定点切削深度来确定设定点脉冲能量，并且如果合适的话，为所述工作激光辐射设定所确定的设定点脉冲能量。