[发明专利]开关元件有效

专利信息
申请号: 200880129794.4 申请日: 2008-06-13
公开(公告)号: CN102084512A 公开(公告)日: 2011-06-01
发明(设计)人: 古田成生;高桥刚;小野雅敏;内藤泰久;清水哲夫 申请(专利权)人: 株式会社船井电机新应用技术研究所;独立行政法人产业技术综合研究所;船井电机株式会社
主分类号: H01L49/02 分类号: H01L49/02;H01L21/28;H01L29/06;H01L45/00
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 张浴月;刘文意
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 开关 元件
【权利要求书】:

1.一种开关元件,包括:

绝缘衬底;

绝缘体,设置在所述绝缘衬底的上表面上;

第一电极,设置在所述绝缘衬底上;

第二电极,设置在所述第一电极上方;

电极间间隙部分,设置在所述第一电极与所述第二电极之间并包括纳米量级的间隙,该纳米量级的间隙用于通过在所述第一电极与所述第二电极之间施加指定电压来引起电阻器的开关现象;以及

密封部件,用于通过包含所述电极间间隙部分将所述电极间间隙部分密封为与空气隔离,其中

所述第一电极接触所述绝缘体的侧表面,

所述第二电极接触所述绝缘体的上表面和所述侧表面,以及

所述电极间间隙部分设置在所述绝缘体的所述侧表面上设置的所述第一电极与所述绝缘体的所述侧表面上设置的所述第二电极之间。

2.一种开关元件,包括:

绝缘衬底;

第一电极,设置在所述绝缘衬底上;

第二电极,设置在所述第一电极上方;以及

电极间间隙部分,设置在所述第一电极与所述第二电极之间并包括纳米量级的间隙,该纳米量级的间隙用于通过在所述第一电极与所述第二电极之间施加指定电压来引起电阻器的开关现象。

3.如权利要求2所述的开关元件,进一步包括:

绝缘体,设置在所述绝缘衬底的上表面上,其中

所述第一电极接触所述绝缘体的侧表面,

所述第二电极接触所述绝缘体的上表面和所述侧表面,以及

所述电极间间隙部分设置在所述绝缘体的所述侧表面上设置的所述第一电极与所述绝缘体的所述侧表面上设置的所述第二电极之间。

4.如权利要求2所述的开关元件,进一步包括:

绝缘体,设置在所述第一电极与所述第二电极之间,其中

所述第二电极接触所述绝缘体的上表面和侧表面,以及

所述电极间间隙部分设置在所述绝缘体的侧表面上设置的所述第一电极与所述第二电极之间。

5.如权利要求2所述的开关元件,进一步包括:

绝缘体,设置为覆盖所述第一电极,并包括用于暴露所述第一电极的一部分上表面的孔,其中

所述第二电极接触所述绝缘体的上表面和所述孔的内表面,以及

所述电极间间隙部分设置在所述孔的所述内表面上设置的所述第一电极与所述第二电极之间。

6.如权利要求2至5任一项所述的开关元件,其中,所述电极间间隙部分被密封为与空气隔离。

7.如权利要求2所述的开关元件,进一步包括:

绝缘体,设置为覆盖所述第一电极,并包括用于暴露所述第一电极的一部分上表面的孔,其中

所述第二电极设置为通过覆盖所述孔的入口将所述孔密封为与空气隔离,并且所述第二电极在覆盖所述孔的所述入口的部分处包括第二电极突起,所述第二电极突起向所述第一电极突出,以及

所述电极间间隙部分设置在所述第一电极与所述第二电极突起之间。

8.如权利要求7所述的开关元件,其中

所述第二电极突起的顶端设置在所述孔的内表面上,以及

所述电极间间隙部分设置在所述第一电极与所述第二电极突起的所述顶端之间,所述顶端设置在所述孔的所述内表面上。

9.如权利要求7所述的开关元件,其中

所述第二电极突起向所述第一电极突出并包括下表面,所述下表面是凹面,

所述第一电极在被所述孔暴露的部分处包括第一电极突起,所述第一电极突起向所述第二电极突出并包括上表面,所述上表面是凹面,

所述第一电极突起的端部与所述第二电极突起的端部在垂直方向上相对,以及

所述电极间间隙部分设置在所述第一电极突起的端部与所述第二电极突起的端部之间。

10.如权利要求2所述的开关元件,其中

所述绝缘衬底包括凹部,

所述第一电极设置在所述绝缘衬底的所述凹部中,并在上表面上包括第一电极凹部,

所述第二电极设置为通过覆盖在所述第一电极上方来将所述第一电极密封为与空气隔离,并在覆盖所述第一电极上方的部分处包括第二电极凹部,

所述第一电极凹部的端部与所述第二电极凹部的端部在垂直方向上相对,以及

所述电极间间隙部分设置在所述第一电极凹部的端部与所述第二电极凹部的端部之间。

11.如权利要求2所述的开关元件,进一步包括:

绝缘体,设置为覆盖所述第一电极,并包括用于将所述绝缘体与所述第一电极分开且用于暴露所述第一电极的一部分上表面的孔,其中

所述第一电极在所述上表面上包括第一电极突起,所述第一电极突起向所述第二电极突出,

所述第二电极设置为通过覆盖所述孔的入口将所述孔密封为与空气隔离,以及

所述电极间间隙部分设置在所述第一电极突起的顶端与所述第二电极之间。

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