[发明专利]使用展像段的光学图案生成器

权利要求书

1.一种用于在目标位置生成图形图案的单展像光学图案生成器，包括具有多个反射展像段的旋转部件，所述展像段具有至少两个不同夹角，所述旋转部件被定位成使得所述展像段随着所述旋转部件绕着它的旋转轴旋转而旋转经过入射光束，各展像段偏转所述入射光束以生成所述图形图案中的图形。

2.根据权利要求1所述的单展像光学图案生成器，还包括：

第一象变光学部件，其在矢平面中压缩所述入射光束如成像到所述展像段上；以及

第二象变光学部件，其在光束离开所述展像段之后在矢平面中解压所述光束，所述旋转部件光学地定位于所述第一与第二象变光学部件之间。

3.根据权利要求2所述的单展像光学图案生成器，其中所述第一象变光学部件在所述展像段将所述入射光束压缩成线轨迹。

4.根据权利要求2所述的单展像光学图案生成器，其中所述光束在进入所述第一象变光学部件时被准直，所述第一象变光学部件在所述展像段将所述入射光束压缩成线轨迹，并且所述第二象变光学部件重新准直所述光束。

5.根据权利要求2所述的单展像光学图案生成器，其中所述第一象变光学部件包括第一圆柱光学部件，并且所述第二象变光学部件包括第二圆柱光学部件。

6.根据权利要求2所述的单展像光学图案生成器，还包括光学地定位于所述旋转部件与所述目标位置之间的非象变成像透镜，以在所述目标位置将所述光束聚焦成斑。

7.根据权利要求2所述的单展像光学图案生成器，其中所述第一和第二象变光学部件的相对光学放大率可调，由此调节在所述目标位置的矢平面与子午平面中的数值孔径之比，并且也调节所述光束在所述目标位置的矢平面与子午平面中的斑宽度之比。

8.根据权利要求1所述的单展像光学图案生成器，其中所述展像段是具有共同绕转轴的直圆锥表面的段。

9.根据权利要求8所述的单展像光学图案生成器，其中所述展像段具有小夹角。

10.根据权利要求8所述的单展像光学图案生成器，其中用于所述展像段的绕转轴与所述旋转部件的旋转轴重合。

11.根据权利要求8所述的单展像光学图案生成器，其中用于所述展像段的绕转轴不与所述旋转部件的旋转轴重合，而是与所述旋转轴平行并且从所述旋转轴移位。

12.根据权利要求1所述的单展像光学图案生成器，其中所述光束从落在与所述旋转轴共同的表面中、但是不与所述旋转轴平行的方向进入所述光学图案生成器。

13.根据权利要求1所述的单展像光学图案生成器，其中所述光束从落在与所述旋转轴共同的平面中的方向进入和退出所述展像段。

14.根据权利要求1所述的单展像光学图案生成器，其中所述光束从与所述旋转轴偏斜的方向进入和退出所述展像段。

15.根据权利要求1所述的单展像光学图案生成器，其中所述旋转部件被定位成使得所述展像段随着所述旋转部件围绕它的旋转轴旋转而旋转经过多个入射光束，所述不同光束生成所述图形图案中的不同图形。

16.根据权利要求1所述的单展像光学图案生成器，其中所述多个入射光束呈现于与所述旋转轴正交的矢平面中。

17.一种用于在目标位置生成图形图案的双展像光学图案生成器，包括：

第一旋转部件，其具有多个第一反射展像段，所述展像段具有至少两个不同夹角，所述第一旋转部件被定位成使得所述展像段随着所述旋转部件围绕它的旋转轴旋转而旋转经过入射光束；以及

第二部件，其具有至少一个第二反射展像段，所述入射光束从所述第一展像段之一和所述第二展像段中的对应一个展像段偏转，各组两个展像段配合以偏转所述入射光束以生成所述图形图案中的图形。

18.根据权利要求17所述的双展像光学图案生成器，其中所述第二部件是与所述第一旋转部件同步围绕相同旋转轴旋转的旋转部件，有相等数目的第二展像段和第一展像段，并且在第二展像段与第一展像段之间有一一对应。

19.根据权利要求18所述的双展像光学图案生成器，其中对应的第一和第二展像段是具有相同夹角的直圆锥表面的段。